微光學(xué)元件是光電子系統實(shí)現小型化的關(guān)鍵部分，它體積小、質(zhì)量輕、造價(jià)低等優(yōu)點(diǎn)且可實(shí)現普通光學(xué)元件很難實(shí)現的微小、陣列、集成、成像和波面轉換等新功能，因此微光學(xué)元件具有非常廣闊的應用前景。

微光學(xué)元件

     微光學(xué)元件的表面輪廓非對稱(chēng)，它的形狀復雜，加工精度要求高，傳統的加工方法如模仿形加工等加工效率非常低，且很難滿(mǎn)足技術(shù)要求。而微表面制造技術(shù)如激光束直寫(xiě)技術(shù)等，存在一定的局限，像對材料、設備要求高，精度一致性差，且工藝可控性也不好等。

為了提升微光學(xué)元件加工精度，哈爾濱芯明天科技有限公司設計研發(fā)生產(chǎn)出新型壓電陶瓷驅動(dòng)式P93快刀伺服系統，它具有響應速度快、加速度高、定位精度高、輸出力密度大、剛度大、傳動(dòng)機構簡(jiǎn)單、系統穩定性好、易于控制等優(yōu)點(diǎn)，使其性能參數滿(mǎn)足快刀加工的技術(shù)要求。從而實(shí)現復雜面形零件樣件的超精密加工。

 P93快速刀具定位器

快速刀具定位器在快速車(chē)削加工過(guò)程中控制刀具產(chǎn)生高頻響、小范圍的Z向快速精密進(jìn)刀運動(dòng)，配合高精度的主軸回轉及X向位移運動(dòng)，來(lái)完成復雜非面形零件的精密車(chē)削加工，在車(chē)削加工中起著(zhù)關(guān)鍵性作用。

刀具工作方式

刀具驅動(dòng)式，即快速刀具定位器帶動(dòng)刀具做高頻響、高精度運動(dòng)；

載物式，即快速刀具定位器帶載待加工件做高頻響、高精度運動(dòng)?？筛鶕蛻?hù)具體應用要求進(jìn)行特殊定制。

刀具驅動(dòng)式

載物式

采用芯明天快速刀具定位器加工微結構，可實(shí)現真正的三維結構加工，成形精度可達到納米級，無(wú)須后續拋光處理，加工效率高，且可加工相對較大尺度的元件，可重復加工具有復雜形狀的各種異形元件，一次加工即可獲得很高的零件尺寸精度、形狀精度和很低的表面粗糙度，能夠實(shí)現光學(xué)微結構的率、高精度、柔性化加工，它已在超精密加工上得到非常廣泛的應用，如下圖“手機導光板加工”等。

設備集成圖

加工效果圖