（具有Φ10mm通光孔）

P36中空式壓電偏轉鏡的中心具有直徑10mm的通光孔徑，是專(zhuān)為光的透射（例如，光過(guò)濾）及反射應用而設計。作為壓電偏轉鏡，它既可產(chǎn)生偏轉運動(dòng)又可產(chǎn)生直線(xiàn)運動(dòng)，對光束的偏轉范圍可達1.6mrad；作為移相器，它的直線(xiàn)運動(dòng)范圍可達12µm，也適于調節光的路徑長(cháng)度。響應速度快，可達亞毫秒。

特點(diǎn):

用于掃描、光學(xué)對準及鏡子移動(dòng)裝置對準；

Φ10mm中心通光孔；

壓電三腳設計；

光束偏轉可達1.6mrad；

活塞運動(dòng)可達12μm（移相器）；

亞毫秒響應，亞微弧度分辨率；

閉環(huán)版本具有更高精度；

用于光學(xué)、鏡片或其他部件；

無(wú)摩擦，高精度撓曲導向系統；

平行運動(dòng)學(xué)擴展動(dòng)態(tài)性及更好的多軸精度。

應用案例

圖像處理/穩定；

干涉法；

激光掃描/光束偏轉；

激光調諧；

光過(guò)濾/開(kāi)關(guān)；

光束穩定等。

P36多軸俯仰/偏轉平臺及Z向定位臺是基于壓電三腳式設計的快速、緊湊型元件。三腳式設計的特點(diǎn)是在較寬的溫度范圍內具有優(yōu)化的角度穩定性。

該壓電偏轉鏡設計可將鏡片或光學(xué)元件安裝在任意方向，且中空設計非常適于光過(guò)濾等。

P36壓電偏轉鏡的三腳驅動(dòng)方式，可在較大的溫度范圍內提供*化的角度穩定性；體積更小巧；兩軸具有相同的偏轉角度及相同的動(dòng)態(tài)性能；更快的響應及更好的線(xiàn)性度；同時(shí)也防止了偏振旋轉。

內部三支壓電陶瓷促動(dòng)器是由三通道控制器來(lái)分別單獨驅動(dòng)（用于俯仰/偏轉運動(dòng)）或者同時(shí)并聯(lián)驅動(dòng)（直線(xiàn)升降運動(dòng)）。

結構示意圖

        在開(kāi)環(huán)模式下，俯仰/偏轉角度與施加電壓基本成線(xiàn)性關(guān)系。P36開(kāi)環(huán)型號非常適于高速、高分辨率、且角度定位是次要的（例如跟蹤）或由外部傳感（例如CCD，PSD）提供反饋的應用。

 控制及運動(dòng)方式

1、開(kāi)環(huán)Z向平臺控制方式

內部三支壓電直線(xiàn)陶瓷促動(dòng)器并聯(lián)連接，提供頂部環(huán)在垂直方向的定位（活塞運動(dòng)）。只需一個(gè)驅動(dòng)通道。

2、開(kāi)環(huán)Z向/俯仰/偏轉定位器控制方式

內部三支壓電直線(xiàn)陶瓷促動(dòng)器由一個(gè)三通道壓電放大器分別單獨驅動(dòng)（或并聯(lián)）?？蓪?shí)現垂直（活塞運動(dòng)）定位及俯仰/偏轉定位。

高可靠性及長(cháng)壽命

緊湊的P36系統配備加有預緊力的高性能壓電促動(dòng)器，集成到一個(gè)成熟的、通過(guò)FEA建模分析的、彎曲導向系統。內部壓電促動(dòng)器為共燒型壓電陶瓷，提供非常好的性能及可靠性。

可配備鏡片轉接座

P36壓電偏轉鏡/移相器可選擇配套鏡片轉接座，以方便鏡片的安裝與固定，如下圖所示。

  頻率負載曲線(xiàn)

P36壓電偏轉鏡的使用頻率與振動(dòng)幅度、負載情況、安裝方式等條件有關(guān)。下圖為P36隨負載的增加諧振頻率的變化曲線(xiàn)。

P36基本技術(shù)參數

注：超低溫版本、超高真空版本及連接器等參數可定制。

 P36驅動(dòng)與控制

光束偏轉角度為機械偏轉角度的兩倍。為了達到zui大偏轉角度，內部三支陶瓷促動(dòng)器需要有偏置電壓75V。而由于平行運動(dòng)學(xué)設計，直線(xiàn)行程和偏轉行程都是獨立的。

以下為推薦配套使用的壓電控制器及簡(jiǎn)單參數。

（具有Φ10mm通光孔）

P36中空式壓電偏轉鏡的中心具有直徑10mm的通光孔徑，是專(zhuān)為光的透射（例如，光過(guò)濾）及反射應用而設計。作為壓電偏轉鏡，它既可產(chǎn)生偏轉運動(dòng)又可產(chǎn)生直線(xiàn)運動(dòng)，對光束的偏轉范圍可達1.6mrad；作為移相器，它的直線(xiàn)運動(dòng)范圍可達12µm，也適于調節光的路徑長(cháng)度。響應速度快，可達亞毫秒。

特點(diǎn):

用于掃描、光學(xué)對準及鏡子移動(dòng)裝置對準；

Φ10mm中心通光孔；

壓電三腳設計；

光束偏轉可達1.6mrad；

活塞運動(dòng)可達12μm（移相器）；

亞毫秒響應，亞微弧度分辨率；

閉環(huán)版本具有更高精度；

用于光學(xué)、鏡片或其他部件；

無(wú)摩擦，高精度撓曲導向系統；

平行運動(dòng)學(xué)擴展動(dòng)態(tài)性及更好的多軸精度。

應用案例

圖像處理/穩定；

干涉法；

激光掃描/光束偏轉；

激光調諧；

光過(guò)濾/開(kāi)關(guān)；

光束穩定等。

P36多軸俯仰/偏轉平臺及Z向定位臺是基于壓電三腳式設計的快速、緊湊型元件。三腳式設計的特點(diǎn)是在較寬的溫度范圍內具有優(yōu)化的角度穩定性。

該壓電偏轉鏡設計可將鏡片或光學(xué)元件安裝在任意方向，且中空設計非常適于光過(guò)濾等。

P36壓電偏轉鏡的三腳驅動(dòng)方式，可在較大的溫度范圍內提供*化的角度穩定性；體積更小巧；兩軸具有相同的偏轉角度及相同的動(dòng)態(tài)性能；更快的響應及更好的線(xiàn)性度；同時(shí)也防止了偏振旋轉。

內部三支壓電陶瓷促動(dòng)器是由三通道控制器來(lái)分別單獨驅動(dòng)（用于俯仰/偏轉運動(dòng)）或者同時(shí)并聯(lián)驅動(dòng)（直線(xiàn)升降運動(dòng)）。

結構示意圖

        在開(kāi)環(huán)模式下，俯仰/偏轉角度與施加電壓基本成線(xiàn)性關(guān)系。P36開(kāi)環(huán)型號非常適于高速、高分辨率、且角度定位是次要的（例如跟蹤）或由外部傳感（例如CCD，PSD）提供反饋的應用。

 控制及運動(dòng)方式

1、開(kāi)環(huán)Z向平臺控制方式

內部三支壓電直線(xiàn)陶瓷促動(dòng)器并聯(lián)連接，提供頂部環(huán)在垂直方向的定位（活塞運動(dòng)）。只需一個(gè)驅動(dòng)通道。

2、開(kāi)環(huán)Z向/俯仰/偏轉定位器控制方式

內部三支壓電直線(xiàn)陶瓷促動(dòng)器由一個(gè)三通道壓電放大器分別單獨驅動(dòng)（或并聯(lián)）?？蓪?shí)現垂直（活塞運動(dòng)）定位及俯仰/偏轉定位。

高可靠性及長(cháng)壽命

緊湊的P36系統配備加有預緊力的高性能壓電促動(dòng)器，集成到一個(gè)成熟的、通過(guò)FEA建模分析的、彎曲導向系統。內部壓電促動(dòng)器為共燒型壓電陶瓷，提供非常好的性能及可靠性。

可配備鏡片轉接座

P36壓電偏轉鏡/移相器可選擇配套鏡片轉接座，以方便鏡片的安裝與固定，如下圖所示。

  頻率負載曲線(xiàn)

P36壓電偏轉鏡的使用頻率與振動(dòng)幅度、負載情況、安裝方式等條件有關(guān)。下圖為P36隨負載的增加諧振頻率的變化曲線(xiàn)。

P36基本技術(shù)參數

注：超低溫版本、超高真空版本及連接器等參數可定制。

 P36驅動(dòng)與控制

光束偏轉角度為機械偏轉角度的兩倍。為了達到zui大偏轉角度，內部三支陶瓷促動(dòng)器需要有偏置電壓75V。而由于平行運動(dòng)學(xué)設計，直線(xiàn)行程和偏轉行程都是獨立的。

以下為推薦配套使用的壓電控制器及簡(jiǎn)單參數。