壓電物鏡掃描器是專(zhuān)門(mén)為聚焦顯微而設計的，采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計，物鏡補償量小，具有超高聚焦穩定性，物鏡掃描器裝入顯微檢測/測量或者觀(guān)測裝置可以帶動(dòng)鏡片聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
壓電物鏡掃描器特點(diǎn)：
運動(dòng)范圍100μm
定位精度達納米級
響應速度可達毫秒級
直線(xiàn)運動(dòng)無(wú)偏航
壓電物鏡掃描器應用：
晶圓切割
生物顯微
白光干涉
原子力顯微鏡
差動(dòng)聚焦檢測系統
顯微光學(xué)成像
壓電物鏡掃描器為小體積大行程壓電物鏡掃描器，內置高性能壓電陶瓷，閉環(huán)精度高，響應速度快、滿(mǎn)行程線(xiàn)性度達納米量級，可進(jìn)行激光聚焦，已廣泛應用與晶圓切割、半導體及微電子加工領(lǐng)域。哈爾濱芯明天科技有限公司專(zhuān)業(yè)致力于壓電納米定位系統的研發(fā)生產(chǎn)與銷(xiāo)售。十余年的行業(yè)經(jīng)驗、專(zhuān)業(yè)的研發(fā)團隊、雄厚的研發(fā)實(shí)力、完善的管理體系、可靠的品質(zhì)保障為您提供的壓電納米定位技術(shù)解決方案！
