壓電納米定位與中國加工制造
在現代工業(yè)領(lǐng)域,壓電納米定位產(chǎn)品覆蓋著(zhù)很大的應用方面。隨著(zhù)科技發(fā)展,人們對器件的要求越來(lái)越高,器件的體積也要求越來(lái)越小,甚至可達微納米級。而壓電納米定位產(chǎn)品具有亞納米級的分辨率及定位精度,且因壓電納米定位產(chǎn)品是由容性壓電疊堆陶瓷驅動(dòng),所以它的運動(dòng)定位時(shí)間即為壓電疊堆陶瓷充放電的時(shí)間,響應時(shí)間可快至亞毫秒級。高精度及高響應速度的特點(diǎn)是壓電納米定位產(chǎn)品廣泛應用于工業(yè)化的重要因素。
壓電納米定位產(chǎn)品到底是什么產(chǎn)品?
壓電納米定位產(chǎn)品其實(shí)就是基于壓電式驅動(dòng)、步進(jìn)精度在納米量級,且可產(chǎn)生納米級至毫米級的運動(dòng)范圍的運動(dòng)產(chǎn)品,可以將它理解是一種統稱(chēng)。它包括壓電疊堆陶瓷、壓電促動(dòng)器、壓電納米定位臺、壓電物鏡定位器、快速刀具微進(jìn)給定位臺、壓電平移臺、壓電掃描臺、壓電偏轉鏡、壓電偏擺臺等。
壓電納米定位產(chǎn)品都用于哪些工業(yè)應用呢?
可從壓電納米定位產(chǎn)品的特性來(lái)了解其應用,例如,我們已經(jīng)了解到壓電納米定位產(chǎn)品的兩大特點(diǎn):高精度及高頻響,憑借于此,壓電納米定位產(chǎn)品就可應用于超精密激光加工,例如晶圓切割,利用激光切割晶圓。
隨著(zhù)手機等電子產(chǎn)品的體積日益變薄、變小,手機內部的芯片就越來(lái)越小,那么晶圓上單個(gè)單元die就相應變小,每個(gè)單元上都有很多電路,使用激光將晶圓切成單元die,這就要求非常高的激光焦點(diǎn)的定位加工精度,需達納米量級;并且,要想快速完成成千上萬(wàn)的晶圓單元的切割,必須加工速度要快。面對這兩項難題,很多產(chǎn)品都束手無(wú)策,但壓電納米定位產(chǎn)品卻可解決這些問(wèn)題。
利用芯明天的壓電納米定位產(chǎn)品之壓電物鏡定位器,例如P76,將其安裝于較重的工業(yè)物鏡頭上方,在壓電控制器輸出的電壓信號的驅動(dòng)下,它可帶載工業(yè)物鏡頭運動(dòng),進(jìn)行Z向100µm范圍的上下微動(dòng),調整距離可至幾納米。當加工用的激光經(jīng)過(guò)工業(yè)鏡頭聚焦后,再通過(guò)壓電物鏡定位器調節激光焦點(diǎn)的位置,激光焦點(diǎn)位置即是加工點(diǎn)的位置,壓電物鏡定位器可保證加工精度達幾納米。
晶圓切割利用的是壓電納米定位產(chǎn)品的直線(xiàn)超高精度位置調節,也可以通過(guò)壓電納米定位產(chǎn)品進(jìn)行角度調節進(jìn)行微小孔加工,例如流量控制板小孔加工、高壓渦輪葉片小孔加工、噴油嘴小孔徑倒錐孔加工等,其中激光的方向及加工點(diǎn)的調節都是通過(guò)壓電偏轉鏡實(shí)現。
芯明天壓電納米定位產(chǎn)品的工業(yè)化,是芯明天強硬的壓電納米定位技術(shù)的一種體現,更是中國壓電納米定位技術(shù)水平趕超世界的一種展現。 將壓電納米定位技術(shù)用于提高制造行業(yè)的加工精度,倡導“中國制造2025”,推進(jìn)中國制造行業(yè)快速發(fā)展。
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