壓電陶瓷管掃描器與光纖章動(dòng)跟蹤
壓電陶瓷管掃描器是可以XYZ三維運動(dòng)的壓電陶瓷管,用于三維微掃描與定位,如AFM原子力顯微鏡等。
結構形式-四區分割電極
工作方式及原理
壓電陶瓷管掃描器為壁厚比較薄、徑向極化、外壁四個(gè)電極、內壁一體或者分區電極的壓電陶瓷管,當外部施加一個(gè)正電壓到某一個(gè)區域時(shí),陶瓷管垂直方向收縮,使陶瓷管頂部產(chǎn)生比較大的傾斜,同時(shí)施加電壓會(huì )使陶瓷軸向或徑向膨脹和收縮。
電極
可選化學(xué)鍍鎳、化學(xué)鍍鎳和金。也可接受電極定制。
驅動(dòng)方式與位移計算
標準品技術(shù)參數
定制產(chǎn)品尺寸范圍
壓電陶瓷管掃描器用于光纖章動(dòng)跟蹤
壓電陶瓷管掃描器體積小巧以及掃描速度快等特點(diǎn),使其非常適于光纖章動(dòng)跟蹤。采用光纖章動(dòng)跟蹤方法,進(jìn)行空間激光到單模光纖的耦合。章動(dòng)運動(dòng)如下圖所示。
壓電陶瓷管掃描器的外徑可小于3mm,體積非常小巧,非常便于集成。掃描范圍為幾微米甚至可達上百微米,且響應速度可達亞毫秒,頻率達5kHz甚至更高,可滿(mǎn)足光纖章動(dòng)跟蹤的要求。
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