芯明天大負載XP-63X高精度壓電納米定位臺
芯明天XP-63X壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅X軸運動(dòng)定位臺,內置高可靠性壓電陶瓷,采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構,具有剛度大、分辨率高、響應速度快等特點(diǎn),可以通過(guò)自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。
特點(diǎn)
· 1~3維自由組合
· 大行程68μm
· 大承載5kg
· 亞毫秒響應時(shí)間
體積小、剛度大、響應速度快、閉環(huán)精度高
XP-63X系列壓電納米定位臺特殊的結構設計,具有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點(diǎn)。負載情況下也具有很高的使用頻率,響應時(shí)間可以實(shí)現亞毫秒級。例如XP-630帶動(dòng)20g負載,響應時(shí)間僅為5ms。XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧,XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm,易于與其他平臺設備集成。
閉環(huán)版本配置應變傳感器,可實(shí)時(shí)檢測位置信號并反饋給閉環(huán)控制器,控制器通過(guò)PID算法對檢測到的位置信號進(jìn)行修正,從而實(shí)現納米級的精密定位。
技術(shù)參數
XP-633.XS
運動(dòng)自由度: X
標稱(chēng)行程范圍(0~120V):48μm
大行程范圍(-20~150V):68μm
傳感器類(lèi)型:SGS
閉環(huán)分辨率:2nm
閉環(huán)線(xiàn)性度:0.15%F.S.
閉環(huán)重復定位精度:0.1%F.S.
推/拉力:480/80N
剛度:10N/μm
空載諧振頻率:1.5kHz
大承載:5kg
靜電容量:7.2μF
材質(zhì):鋁
重量:450g
應用實(shí)例
采用XP-633壓電納米定位臺帶動(dòng)探針作精密位移定位檢測控制,從而完成1mN的力控制實(shí)驗。
XP-633壓電納米定位臺配套二維宏動(dòng)臺組成宏微復合機構,應用于精密加工中。
推薦控制器
XP-633為一維壓電納米定位臺,推薦使用E53.D小體積壓電控制器,體積小巧,易于集成。
E53.D壓電控制器
·E53.D
·0~120V/150V輸出
·模擬、上位機通信控制
·帶寬10kHz
·尺寸80×148×27.5mm
kerning:1.0000pt;" >E01.D1壓電控制器
·E01.D1
·0~120V/150V輸出
·平均功率7W/35W
·上位機通信、模擬、旋鈕控制
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