產(chǎn)品應用
電容傳感器可以直接測量的非電量為:直線(xiàn)位移、角位移及介質(zhì)的幾何尺寸(或稱(chēng)物位),直線(xiàn)位移及角位移可以是靜態(tài)的,也可以是動(dòng)態(tài)的,例如是直線(xiàn)振動(dòng)及角振動(dòng)。用于上述三類(lèi)非電參數變換測量的變換器一般說(shuō)來(lái)原理比較簡(jiǎn)單,無(wú)需再作任何預變換。
用來(lái)測量金屬表面狀況、距離尺寸、振幅等量的傳感器,往往采用單極式變間隙電容傳感器,使用時(shí)常將被測物作為傳感器的一個(gè)極板,而另一個(gè)電極板在傳感器內。近年來(lái)已采用這種方法測量油膜等物質(zhì)的厚度。這類(lèi)傳感器的動(dòng)態(tài)范圍均比較小,約為十分之幾毫米左右,而靈敏度則在很大程度上取決于選材、結構的合理性及寄生參數影響的消除。精度達到0.1μm,分辨力為0.025μm??梢詫?shí)現非接觸測量,它加給被測對象的力極小,可忽略不計。
測物位的傳感器多數是采用電容式傳感器作轉換元件。電容式傳感器還可用于測量原油中含水量、糧食中的含水量等。
當電容傳感器用于測量其他物理量時(shí),必須進(jìn)行預變換,將被測參數轉換成d,S或ε的變化。例如在測量壓力時(shí),要用彈性元件先將壓力轉換成d的變化。