芯明天為您搭建光路穩定系統，該系統可產(chǎn)生光路的擾動(dòng)信號，并可對擾動(dòng)信號進(jìn)行補償，將光路中的擾動(dòng)進(jìn)行抑制、衰減，從而使光路穩定。

該光路穩定系統由PSD光源激光器、用于擾動(dòng)模擬的壓電偏轉鏡及控制器、用于補償的壓電偏轉鏡及控制器、光信號傳感器以及偏差比較電路組成。

光路穩定系統

該系統組成部件

光源激光器×1臺

光功率及波長(cháng)在PSD光信號傳感器能接收范圍內。

芯明天P33.T2K壓電偏轉鏡、E53.B3壓電控制器及支架×各兩套

該P33.T2K壓電偏轉鏡產(chǎn)生的光束偏轉范圍達6mrad，工作頻率可達80Hz。

PSD光信號傳感器×1臺

X、Y軸測量行程：±2mm；響應時(shí)間：<20 µs。對PSD光信號傳感器量程的選擇取決于入射到PSD光信號傳感器中入射光始發(fā)點(diǎn)到PSD光信號傳感器間的距離。

光路穩定系統工作原理

該光路穩定系統的基本原理為：光源激光器發(fā)出的光束經(jīng)過(guò)干擾用壓電偏轉鏡及補償用壓電偏轉鏡反射后，被PSD光信號位置傳感器接收，并反饋給補償用壓電偏轉鏡控制器，通過(guò)其內部偏差比較電路的計算，輸出補償電壓，驅動(dòng)補償用壓電偏轉鏡進(jìn)行角度調整，將干擾信號進(jìn)行補償、衰減。

在操作使用前，需要將PSD光信號位置傳感器與補償壓電偏轉鏡控制器進(jìn)行標定，芯明天E53.B3壓電控制器具有偏差比較電路。標定好后，啟動(dòng)干擾用壓電偏轉鏡的控制器，驅動(dòng)干擾壓電偏轉鏡，產(chǎn)生模擬干擾信號（信號頻率、幅度、波形可調）。PSD光信號位置傳感器將接收到的光位置信號反饋到補償用壓電偏轉鏡控制器，通過(guò)其內部偏差比較電路，輸出補償所需的電壓信號，驅動(dòng)補償壓電偏轉鏡進(jìn)行與干擾信號相同但相反的角度調整。

測試實(shí)驗結果

在X向或Y向150微米、10Hz干擾信號下，經(jīng)過(guò)閉環(huán)補償后，干擾信號減小至5微米。