近年來(lái)，隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，在半導體、精密測量、超精密加工和納米技術(shù)等領(lǐng)域對定位精度有著(zhù)越來(lái)越嚴苛的限制，這就需要高性能的超精密壓電定位臺作為技術(shù)。

為了實(shí)現納米級的精密定位，需要高精度的驅動(dòng)方式和傳動(dòng)方式，使定位臺達到納米級的位移分辨率。芯明天壓電納米定位臺利用壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件，柔性鉸鏈機構作為傳動(dòng)裝置構成超精密定位系統可實(shí)現納米級精密定位。

芯明天納米定位臺采用的是柔性鉸鏈機構的彈性形變。下圖是芯明天柔性鉸鏈在壓電機構中的應用，實(shí)現高分辨率以及大位移行程。

柔性鉸鏈機構結構緊湊且無(wú)摩擦，適合與壓電陶瓷組成分辨率高，頻響高的超高精度納米定位臺。同時(shí)柔性鉸鏈機構還可以提供適當的預緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺的使用壽命。

芯明天壓電納米定位臺

芯明天壓電納米定位臺以壓電陶瓷作為驅動(dòng)源，結合柔性鉸鏈機構實(shí)現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運動(dòng)，具有體積小、無(wú)摩擦、響應速度快等特點(diǎn)，可以實(shí)現納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性。

產(chǎn)品應用

超精密測量

采用芯明天壓電納米定位臺帶動(dòng)探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的力控制實(shí)驗。

超精密機械加工

壓電納米定位臺帶動(dòng)刀具微納米級進(jìn)給，從而實(shí)現光學(xué)非球面、微結構及模具納米級超精密加工。