壓電陶瓷的典型應用案例
芯明天壓電陶瓷是以PZT鋯鈦酸鉛為材料的PZT壓電陶瓷,具有正壓電效應及逆壓電效應。芯明天壓電陶瓷的應用可覆蓋半導體技術(shù)、光電子、通信、集成光學(xué)、生物科技、生命技術(shù)、精密加工、測量、激光技術(shù)、光學(xué)檢測、摩擦學(xué)、新藥設計、醫療技術(shù)、數據存儲技術(shù)、天文、自適應光學(xué)、納米技術(shù)、納米制造與納米自動(dòng)化、顯微與成像、航天、圖像處理、低溫與真空環(huán)境等。
光束跟蹤
自動(dòng)激光束定位跟蹤運動(dòng)物體,在生物學(xué)應用中,將激光束用于細胞刺激。需要實(shí)時(shí)控制激光束的位置以跟蹤細胞的運動(dòng),而由于熱效應或外部振動(dòng),很難實(shí)現將激光束保持在細胞上的重要要求。
使用兩套壓電陶瓷驅動(dòng)的兩軸壓電偏轉鏡及位置探測器,壓電陶瓷偏轉鏡可根據位置探測器的信號實(shí)時(shí)調節光束的位置,調節速度可達幾毫秒,頻率可達百赫茲。
微操作
在集成顯微鏡與微操作探針的顯微系統中,對樣品的微操作精度要求非常高。
利用壓電陶瓷促動(dòng)器及壓電陶瓷平臺進(jìn)行微操作調節,可獲得XYZ三維百微米操作范圍,以及10微米探針直線(xiàn)運動(dòng)調節,通過(guò)軟件即可完成控制。
利用白光干涉法進(jìn)行結構的三維表面檢測。例如,對發(fā)動(dòng)機結構的三維檢測,發(fā)動(dòng)機氣缸表面的珩磨是延長(cháng)內燃機壽命、減少污染和節約資源的常用方法。珩磨過(guò)程非常復雜,需對這些結構進(jìn)行詳細的檢測分析。
利用芯明天壓電陶瓷物鏡驅動(dòng)器,使得物鏡進(jìn)行非常的移動(dòng),步進(jìn)精度在2.5nm,聚焦范圍可達550μm,用于產(chǎn)生高分辨率圖像。在芯明天壓電陶瓷控制器的控制下,可進(jìn)行步進(jìn)掃描或連續掃描。
光束調整
同步加速器的用戶(hù)對輸出光束有不同的要求。其中一個(gè)非常重要的方面是調整光束方塊的大小。 一般通過(guò)交換不同尺寸的針孔孔徑來(lái)改變孔徑尺寸,但該方法實(shí)現不方便且費時(shí)。
利用兩個(gè)芯明天XY運動(dòng)的壓電陶瓷定位臺,正交定向放置,可在幾百微米至1毫米范圍內調整光束的面積,精度可達幾納米,可在幾毫秒內非常地提供不同尺寸的光束方塊,起到光束快門(mén)的作用,在準直器中調節輸出光束的尺寸。
計量學(xué)
表面形貌對于質(zhì)量檢驗是至關(guān)重要的。
先進(jìn)的技術(shù),如三維測量顯微鏡。通過(guò)集成芯明天Z向壓電陶瓷納米定位臺,可將分辨率提高到幾納米,具有非常和可重復的運動(dòng)。
計量顯微鏡
使用白光干涉儀對表面進(jìn)行非接觸式3D檢測。
表面檢測對于無(wú)數工業(yè)和研究領(lǐng)域的許多制造工藝都很重要。光學(xué)測量方法提供低至幾納米的分辨率。這種景深需要使用高分辨率壓電陶瓷物鏡驅動(dòng)器。
芯明天壓電陶瓷物鏡驅動(dòng)器的負載能力達0.5kg,且兼容蔡司、徠卡、尼康、奧林巴斯等廠(chǎng)商的物鏡。
AFM顯微鏡
基于壓電陶瓷納米定位系統的原子力顯微鏡系統。
通過(guò)使用三維壓電陶瓷納米定位臺,可在百微米范圍內移動(dòng)探頭,具有非常高的分辨率,且壓電陶瓷具有超快的響應時(shí)間,可快速地生成圖像。
地質(zhì)學(xué)
井中的快速孔隙壓力測量?;钊谏斐鑫恢煤涂s回位置之間振蕩,并產(chǎn)生資源(例如油)的流體運動(dòng)。 這種流體運動(dòng)通過(guò)地層的孔隙噴射并提供快速和的孔隙壓力測量。井底組件中使用的部件必須能夠承受?chē)揽恋臈l件,如高溫高壓等。
采用芯明天壓電陶瓷促動(dòng)器,可承受的高溫可達200℃,在高壓下不會(huì )造成嚴重的性能損失。
生物顯微學(xué)
在傳統的顯微鏡中,分辨率的極限是光波長(cháng)的一半。
在顯微鏡系統中集成芯明天壓電陶瓷物鏡驅動(dòng)器,可得到超分辨率步進(jìn)顯微鏡,滿(mǎn)足藍光200nm分辨率要求。
光譜學(xué)
光束線(xiàn)具有非常高的挑戰性要求。其中,和第二晶體的平行度必須大于90nrad的步長(cháng),在百微米行程范圍內的分辨率必須優(yōu)于1nm。
由于晶體的高質(zhì)量和高熱負荷,還需要*的剛度。
通過(guò)使用芯明天封裝壓電陶瓷促動(dòng)器可在四次彈跳式水晶單色儀中保證高分辨率。并且芯明天可定制封裝壓電陶瓷促動(dòng)器,可在真空4K的超低溫下使用。并可通過(guò)PID控制,形成閉環(huán)回路控制。
半導體
芯明天為半導體行業(yè)進(jìn)行大型晶圓的切割及檢測。
通過(guò)使用芯明天壓電陶瓷物鏡驅動(dòng)器,可調整激光聚焦加工的焦點(diǎn),即切割加工點(diǎn)。分辨率可達2.5nm,聚焦范圍110μm,負載能力達0.5kg。
振動(dòng)器/材料測試/振動(dòng)激勵
封裝壓電陶瓷促動(dòng)器具有大出力、高動(dòng)態(tài)性的特點(diǎn),空載諧振頻率可達40kHz,出力可達50000N。并且,封裝壓電陶瓷促動(dòng)器體積小巧,易于集成,也非常適于材料測試、主動(dòng)減振和振動(dòng)激勵等應用。
空間應用
壓電陶瓷促動(dòng)器的應用不限于地球表面。壓電陶瓷促動(dòng)器用于許多衛星任務(wù)和空間站的實(shí)驗。 壓電陶瓷促動(dòng)器可用于分析星球表面的結構和機械特性,或用于檢測的傳感器。也可用于在衛星上進(jìn)行望遠鏡調節或主動(dòng)減振或在空間站上進(jìn)行實(shí)驗等。
芯明天具有十年的定制方案經(jīng)驗,可為您定制航空、航天等適合您應用的解決方案!
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