芯明天壓電精瞄鏡是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件，內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計，外部機械結構通過(guò)內部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現單軸或多軸角度偏轉運動(dòng)，補償量小，確保偏轉鏡具有的運動(dòng)精度和超高的穩定性，通過(guò)內置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P22系列

運動(dòng)自由度：θx

光束偏轉范圍：8mrad

分辨率：0.1μrad

空載階躍時(shí)間：0.8ms

P33系列

運動(dòng)自由度：θx θy

光束偏轉范圍：27mrad

分辨率：0.02μrad

空載階躍時(shí)間：1ms

P34系列

運動(dòng)自由度：θx θy

光束偏轉范圍：12mrad

分辨率：0.02μrad

空載階躍時(shí)間：1ms

P31系列

運動(dòng)自由度：θx θy

光束偏轉范圍：50mrad

分辨率：1μrad

空載階躍時(shí)間：3.2ms

P35系列

運動(dòng)自由度：θx θy 

光束偏轉范圍：50mrad

偏轉分辨率：1μrad

空載階躍時(shí)間：0.88ms

P32系列

運動(dòng)自由度：θx θy Z

光束偏轉范圍：12mrad

直線(xiàn)行程：40μm

偏轉分辨率：0.05μrad

直線(xiàn)分辨率：0.5nm

空載階躍時(shí)間：2ms

P36系列

運動(dòng)自由度：θx θy Z

光束偏轉范圍：1.6mrad

直線(xiàn)行程：12μm

偏轉分辨率：0.02μrad

直線(xiàn)分辨率：0.1nm

空載階躍時(shí)間：0.5ms