P31 俯仰/ 偏轉鏡系統可提供光束偏轉角度達50mrad，這種偏轉鏡系統是基于成熟的平行運動(dòng)學(xué)設計，兩個(gè)運動(dòng)軸為垂直共面軸且具有共同的固定點(diǎn)，具有高分辨率及高定位精度等特點(diǎn)。

特點(diǎn)

· θx, θy 二維偏轉

· 大偏轉范圍25mrad

· 亞毫秒響應時(shí)間

· 閉環(huán)定位精度高

· 溫度穩定性高

高可靠性及長(cháng)壽命、高穩定性及動(dòng)態(tài)性

P31 系統內部裝配帶有預緊力的高可靠性壓電促動(dòng)器，被集成在成熟的、經(jīng)過(guò)FEA 建模分析的鉸鏈導向系統。壓電促動(dòng)器為疊堆共燒型壓電陶瓷，可提供更好的穩定性及可靠性。

壓電促動(dòng)器、導向機構及傳感器是免維護的，不易損壞且提供超高的可靠性。

先進(jìn)的鉸鏈/ 杠桿設計將慣性小化，允許25mrad 的大角度俯仰/ 偏轉范圍（可將光束偏轉50mrad），且具有非?？斓捻憫俣?，在毫秒級范圍。

除了大偏轉角度及高動(dòng)態(tài)，P31 還提供了亞微弧度的分辨率。內部集成高分辨率、全橋的應變傳感器（SGS）實(shí)現了的位置控制，具有優(yōu)異的重復定位精度，通常為滿(mǎn)行程的0.2%。

驅動(dòng)原理

壓電偏轉鏡（兩軸運動(dòng)）是基于平行運動(dòng)學(xué)設計，具有共面軸及移動(dòng)面。四個(gè)執行機構（壓電促動(dòng)器）以90°角平分放置，成對的差分控制分布。兩對差分驅動(dòng)壓電促動(dòng)器在較大溫度范圍內提供可實(shí)現的角度穩定性。它的偏擺運動(dòng)是由兩對壓電促動(dòng)器以推拉模式來(lái)實(shí)現，采用橋式連接電路控制。

頻率負載曲線(xiàn)

閉環(huán)定位精度

偏轉角度測量

激光準直儀測量P31.T25S 壓電偏轉鏡的偏轉行程范圍。

帶載階躍時(shí)間

P31.T25S 壓電偏轉鏡帶載60g 負載，達到滿(mǎn)行程偏轉角度的階躍時(shí)間約100ms。

閉環(huán)曲線(xiàn)