激光切割晶圓可分為劃片切割與穿透切割。激光經(jīng)過(guò)透鏡聚焦，再通過(guò)壓電物鏡定位器調整焦點(diǎn)的位置，使焦點(diǎn)準確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著(zhù)激光與被切割材料的相對運動(dòng)，在切割材料上形成切縫從而達到切割的目的。

P76系列壓電物鏡定位器可快速調節聚焦點(diǎn)即加工點(diǎn)的位置，使其在目標切割位置，聚焦行程可達110μm，分辨率可達2.5nm。

P76系列壓電物鏡定位器為大負載Z軸運動(dòng)壓電物鏡定位器，負載能力可達500g，Z軸直線(xiàn)運動(dòng)范圍可達110μm，采用柔性鉸鏈設計機構，無(wú)摩擦，直線(xiàn)性好，閉環(huán)型號定位精度高。分離式螺紋適配器設計，可適配多種型號的顯微鏡。

<<特點(diǎn)

• 大行程110μm

• 大承載500g

• 毫秒級響應時(shí)間

• 閉環(huán)重復定位精度高電

• 聚焦穩定性好  

<<大負載、高頻響、高分辨率

P76納米掃描聚焦系統的設計是為了大負載、大孔徑物鏡在現代高分辨率顯微應用中達到快的階躍時(shí)間。它極其堅固的設計提供了非?？斓姆€定時(shí)間及掃描頻率，即使帶載幾百克的物鏡時(shí)。多個(gè)壓電驅動(dòng)器的旋轉對稱(chēng)排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設計，使它具有較高的剛度，同時(shí)保證了優(yōu)異的導向精度和動(dòng)態(tài)性。

P76壓電物鏡定位器的大通光孔徑為22mm，大負載為500g，它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應用中常用的大視場(chǎng)物鏡。P76壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。它也可以通過(guò)適配器與手動(dòng)調節臺相結合使用。

<<頻率負載曲線(xiàn)

<<開(kāi)/閉環(huán)曲線(xiàn)（帶載500g）

<<螺紋適配器便于安裝

P76物鏡定位器與物鏡之間通過(guò)適配器連接，將物鏡快速鎖定在預期位置。多種螺紋牙可選，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于與顯微鏡集成安裝。

<<技術(shù)參數