芯明天壓電納米位移臺
納米位移臺/壓電位移臺/壓電平移臺/壓電納米位移臺
納米位移臺即為可產(chǎn)生納米級步進(jìn)位移的位移平臺,精度在納米級。“壓電”是指由壓電陶瓷作為驅動(dòng)源,分多種驅動(dòng)方式,如直驅式、放大機構式、馬達式。三者相比,響應速度快的為直驅式結構的壓電納米位移平臺,行程較大的是壓電馬達式壓電納米位移平臺,可達毫米、厘米甚至米量級。
直驅式機構-壓電納米位移臺
直驅式機構的壓電納米位移臺具有多種外觀(guān),如柱形、環(huán)形、平臺型等。結構如下圖所示。柱形更適于單軸運動(dòng)、單螺紋負載固定、空間受限的應用。而平臺型可輸出1至3維的位移,適于單軸或多軸的位移要求的應用。
參數舉例
型號:P66.XY
運動(dòng)軸:X、Y
位移范圍:34µm/軸
承載能力:7kg
參數舉例
型號:PSt150/10/60VS15
運動(dòng)軸:Z
位移范圍:57µm
推力:2300N
放大式機構-壓電納米位移臺
放大式機構的壓電納米位移臺是通過(guò)分析、設計特殊鉸鏈結構,將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移進(jìn)行放大輸出,放大倍數自由設計,一般輸出范圍可在幾百微米甚至毫米。外觀(guān)可分為平臺式和橢圓結構式。
參數舉例
型號:P11.XYZ
運動(dòng)軸:X、Y、Z
位移范圍:110µm/軸
承載能力:600g
橢圓結構
參數舉例
型號:P06.X40A
運動(dòng)軸:Z(收縮)
位移范圍:41µm
出力:125N
型號:P06.X500R
運動(dòng)軸:Z(膨脹)
位移范圍:560µm
出力:100N
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