壓電掃描臺應用于飛秒激光微加工
現在,各種激光器已經(jīng)被廣泛應用于各個(gè)工業(yè)及醫療領(lǐng)域,而飛秒激光作為微加工等領(lǐng)域的理想光源,正逐漸引發(fā)市場(chǎng)的高度關(guān)注。
飛秒激光微加工的過(guò)程是將被加工的目標元件固定在壓電掃描臺上,將激光光束聚焦在準備加工的軌跡始端,調節激光能量,按照預先設計好的軌跡移動(dòng)二維壓電掃描臺進(jìn)行加工,由于壓電掃描臺的分辨率可達到納米級,精度非常高,所以這能大大提高飛秒激光加工系統的加工精度。
飛秒激光結合高精度壓電掃描臺加工各種材料的微加工方式,作為激光加工技術(shù)領(lǐng)域的一個(gè)分支越來(lái)越受到廣泛的關(guān)注。其中芯明天自主研發(fā)生產(chǎn)的高精度壓電掃描臺以其精度高、性能穩定等特點(diǎn)已被廣泛應用于激光加工領(lǐng)域。
芯明天P17系列二維壓電掃描臺
P17 系列壓電掃描臺是專(zhuān)門(mén)為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發(fā)設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可靠性壓電陶瓷,可以實(shí)現XY 軸210μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,內部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優(yōu)化結構,具有超高的導向精度。
特點(diǎn):
· XY軸二維運動(dòng)
· 位移可達210μm/軸
· 通孔尺寸60×60mm
· 分辨率達5nm
· 承載可達1kg
· 閉環(huán)重復定位精度高
推薦壓電控制器
芯明天E70系列壓電控制器,既可保證快速的響應時(shí)間,又可保證掃描臺的工作穩定性,同時(shí),E70控制方式采用模擬與數字控制,可與計算機連接,方便操作。
哈爾濱芯明天科技有限公司(www.pigbut.com)主營(yíng):壓電促動(dòng)器,壓電移相器,壓電快反鏡,快速刀具定位器
哈爾濱芯明天科技有限公司 版權所有 ICP備案號:黑ICP備16009173號-2 管理登陸 技術(shù)支持:儀表網(wǎng) 網(wǎng)站地圖