N12 系列壓電掃描臺為 1~3 維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內部采用無(wú)摩擦的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優(yōu)化結構，具有超高的導向精度、高剛性、大負載、無(wú)磨損等特點(diǎn)，平臺內可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實(shí)現滿(mǎn)行程 0.04% 的重復定位精度。

特點(diǎn)

• 位移 110μm • 承載能力 0.7kg • 臺體中心方形通孔 45×45mm • 閉環(huán)重復定位精度高 • 開(kāi) / 閉環(huán)可選

1~3維掃描臺

    N12系列壓電掃描臺包含X、Z、XY、XZ、XYZ五種規格型號,外觀(guān)相同。

典型應用 

• 掃描顯微 • 共焦顯微 • 晶圓定位

• 表面測量 • 圖像處理與穩定 • 半導體測試

小體積、大位移、中心通孔

N12 系列納米定位臺體積非常小巧，位移可達 110μm。*的平行運動(dòng)學(xué)設計原理，使得平臺可以實(shí)現 XYZ 軸高速精密運動(dòng)。這款產(chǎn)品的應用非常廣泛，從光學(xué)研究到工業(yè)化OEM系統等。

該系列壓電掃描臺的通光孔為 45×45mm，高剛度。

閉環(huán)傳感定位精度高

N12 系列壓電掃描臺配置高分辨率傳感器，對位置實(shí)時(shí)檢測并反饋到壓電控制器，控制器通過(guò) PID 算法調整電壓修正位移，從而實(shí)現高精度定位。

N12.XYZ 壓電掃描臺配套芯明天 E72 系列模塊化控制器應用于光學(xué)顯微成像，實(shí)現XYZ 軸精密掃描。

閉環(huán)定位精度

N12.XYZ100S 線(xiàn)性度與重復度實(shí)測曲線(xiàn)

頻率負載曲線(xiàn)

開(kāi) / 閉環(huán)曲線(xiàn)

技術(shù)參數 

型號：N12.XYZ100S

運動(dòng)自由度：X、Y、Z

行程范圍（0~120V）：80μm/ 軸

行程范圍（-20~150V）：110μm/ 軸

傳感器類(lèi)型：SGS

通孔尺寸：45×45mm

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：7nm

閉環(huán)線(xiàn)性度：0.15%F.S

閉環(huán)重復定位精度：0.1%F.S

俯仰/偏航 / 滾動(dòng)：<20μrad

推/拉力：20N

運動(dòng)方向剛度：X0.3/Y0.25/Z0.2N/μm

空載諧振頻率：X200Hz/Y150Hz/Z120Hz

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：30ms/0.8ms

承載：0.5kg

靜電容量：1.8μF

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：350g