壓電物鏡定位器結合二維壓電掃描臺用于光學(xué)顯微成像
光學(xué)顯微成像是指透過(guò)樣品或從樣品反射回來(lái)的可見(jiàn)光,通過(guò)一個(gè)或多個(gè)透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術(shù)。壓電物鏡定位器可帶動(dòng)物鏡頭做Z向超精密運動(dòng),XY二維壓電掃描臺帶動(dòng)樣品實(shí)現高精度的二維平臺位移運動(dòng),可使觀(guān)測精度達納米級。
光學(xué)顯微成像原理
壓電物鏡定位器
壓電物鏡定位器
芯明天壓電物鏡定位器是為物鏡聚焦顯微而設計的Z軸運動(dòng)壓電物鏡定位器,采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構設計,無(wú)摩擦,物鏡補償量小,具有超高聚焦穩定性。聚焦范圍可達 500μm,負載可達500g。分立式螺紋設計,可適配多種型號的物鏡,也可選擇螺紋牙轉接器進(jìn)行轉接。物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀(guān)測裝置可以帶動(dòng)鏡片聚焦提高精度。
壓電掃描臺
芯明天二維壓電掃描臺具有中心通孔,采用直驅或機構放大原理,柔性鉸鏈支撐傳動(dòng),內置高可靠性壓電陶瓷驅動(dòng),掃描范圍可達375μm,分辨率可達0.1nm,多種通孔尺寸可選。主要應用于透光精密光學(xué)器件的定位與調整、生物顯微與光學(xué)顯微系統成像等。
驅動(dòng)控制
壓電物鏡定位器結合二維壓電掃描臺可選配三通道壓電控制器進(jìn)行驅動(dòng)控制,可根據開(kāi)閉環(huán)、階躍時(shí)間等參數要求選擇不同型號的控制器。
芯明天E01.D3與E70.D4S壓電控制器
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