驅動(dòng)元件

芯明天壓電納米定位臺內部采用壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件，主要利用壓電陶瓷的逆壓電效應，通過(guò)對壓電陶瓷施加電場(chǎng)，產(chǎn)生納米級精度的致動(dòng)位移。壓電陶瓷具有優(yōu)異性能及超長(cháng)使用壽命，多種尺寸及位移集成到納米定位系統中滿(mǎn)足不同應用的需求。

壓電陶瓷

內部結構

柔性鉸鏈機構結構緊湊且無(wú)摩擦，適合與壓電陶瓷組成分辨率高，頻響高的超高精度納米定位臺。同時(shí)柔性鉸鏈機構還可以提供適當的預緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺的使用壽命。

柔性鉸鏈

運動(dòng)自由度

芯明天壓電納米定位臺可以實(shí)現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸方向的精密運動(dòng)。

位移行程

芯明天壓電納米定位臺的位移行程通常在幾微米至幾百微米之間，更大行程范圍可定制。

分辨率

壓電納米定位臺內部采用的壓電陶瓷本身具有無(wú)限高的分辨率，但由于受外部控制信號及其他因素的影響，使得可實(shí)現的分辨率是有限的。以P63系列為例，配套芯明天E01系列壓電控制器，可以實(shí)現0.1nm的步進(jìn)分辨率。

步進(jìn)分辨率

響應時(shí)間

壓電納米定位臺的響應時(shí)間可達毫秒級，以P11系列為例，配套芯明天E52系列壓電控制器可實(shí)現0.8ms的響應時(shí)間。

響應時(shí)間

驅動(dòng)電壓

芯明天壓電納米定位臺的驅動(dòng)電壓可在-20V~+150V，對于高可靠的長(cháng)期使用，建議驅動(dòng)電壓在0~120V。

可選閉環(huán)反饋

芯明天壓電納米定位臺可選配集成 SGS 應變傳感器、 位移傳感器或CAP電容傳感器，以消除PZT 壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性，使得輸入控制電壓與輸出位移成線(xiàn)性關(guān)系。芯明天壓電產(chǎn)品均可選閉環(huán)版本，配套芯明天閉環(huán)控制系統，壓電控制器通過(guò)PID算法進(jìn)行電壓調整對位移進(jìn)行實(shí)時(shí)修正，實(shí)現納米級定位精度，穩定性好，可靠性高。

閉環(huán)傳感器