壓電平臺與手調、電動(dòng)平臺的集成:宏微復合壓電平臺!
壓電平臺的特點(diǎn)是納米級高分辨率、毫秒至亞毫秒級響應速度、納米級定位精度等,因此它非常適于快速、的位置調節應用,如樣品的顯微聚焦、微結構的超精密加工、光路的調整、毫牛級力的控制、圖像的穩定及分辨率增強、白光干涉等等。
壓電平臺的位移一般在幾百微米至毫米范圍,而在很多應用場(chǎng)景中,都需要宏動(dòng)平臺(毫米級行程的手調臺、電動(dòng)臺等)的輔助,在進(jìn)行大范圍的粗調后,再通過(guò)壓電平臺進(jìn)行納米級調節。
針對該類(lèi)要求,芯明天提供定制化集成手調平臺或電動(dòng)平臺的壓電平臺,從而既可完成位置的粗調,又可完成納米級精度的精調。下圖所示,為一款定制型宏微復合壓電平臺,集成手調臺的壓電平臺。
該款宏微復合壓電平臺的粗調為XY方向,每軸行程為13mm,讀數精度為10μm;壓電平臺精調部分的行程為100μm,精調分辨率達7nm,并且壓電部分配有位置傳感器,定位精度非常高。
詳細參數如下。
粗調運動(dòng)自由度:XY
粗調行程范圍:13mm/軸
粗調讀數精度:10μm
精調運動(dòng)自由度:Z
精調行程范圍:100μm
傳感器類(lèi)型:SGS
閉環(huán)分辨率:7nm
閉環(huán)線(xiàn)性度:0.2%F.S.
重復定位精度:0.1%F.S.
承載能力:300g
通孔尺寸:φ48mm
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