精密定位技術(shù)對定位系統的精度和行程提出了越來(lái)越高的要求，壓電機構驅動(dòng)宏微復合對這一要求提供了關(guān)鍵的技術(shù)支持，解決了其要求行程大、定位精度高等技術(shù)難題，同時(shí)還具備了體積小、響應速度快、出力大等技術(shù)優(yōu)勢。

芯明天壓電宏微復合機構是手動(dòng)調節與電壓調節相結合的超精密定位臺。控制結構分為兩部分，一部分為手動(dòng)調節臺，通過(guò)千分尺進(jìn)行調節；另一部分為壓電納米定位臺，內部由壓電陶瓷驅動(dòng)，通過(guò)施加電壓來(lái)控制。在粗調機構中，可調整的直線(xiàn)運動(dòng)行程為13mm，分辨率為10μm。在精調機構中，可調整的直線(xiàn)運動(dòng)行程可達100μm，分辨率為2.5nm。可通過(guò)兩種調節結合來(lái)達到納米級定位精度。

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以P84系列壓電宏微復合機構為例

特點(diǎn)：

· X向運動(dòng)，1至3維自由組合；

· 易于調節，分辨率可達2.5nm

· 粗調行程13mm/軸

· 精調行程100μm/軸

· 壓電調節可選配閉環(huán)傳感器

· 結構緊湊，體積小巧

技術(shù)參數：

P84宏微復合機構可與宏動(dòng)平臺配合使用，1~3維自由組合，組成大行程高精度運動(dòng)平臺。