P92.X40快速刀具定位臺內部采用高壓壓電陶瓷驅動(dòng)，驅動(dòng)電壓為0~1000V，出力可達3000N。該快速刀具定位臺可產(chǎn)生一維X向的微進(jìn)給運動(dòng)，進(jìn)給范圍可達40μm，且集成閉環(huán)傳感器，可保證操作時(shí)控制電壓與位移間的線(xiàn)性關(guān)系。另外，它的機械結構設計堅固，且配有散熱接口。

特點(diǎn)：

● 行程達40μm   ● 驅動(dòng)電壓0~1000V  ● 出力達3000N  ● 閉環(huán)分辨率達10nm  ● 散熱孔

技術(shù)參數：

型號：P92.X40

標稱(chēng)行程范圍（0-800V）：32μm

行程范圍（0-1000V）：40μm

傳感器類(lèi)型：SGS

落后相位（1μm/1Khz ）：＜20°

落后相位（5μm/500hz ）：＜10°

推力：3000N

運動(dòng)方向剛度：100N/μm

空載諧振頻率：3975Hz

閉環(huán)線(xiàn)性度：<0.1%F.S

閉環(huán)重復定位精度：<0.1%F.S

閉環(huán)分辨率：10nm

靜電容量：540nF

材質(zhì)：鋼

開(kāi)環(huán)位移曲線(xiàn)

注：上圖中，實(shí)際施加到快刀定位臺的電壓值為輸入電壓的100倍。

閉環(huán)精度曲線(xiàn)

閉環(huán)分辨率

1

增益曲線(xiàn)

1

相位曲線(xiàn)

1

溫升曲線(xiàn)

1）1kHz、1μm工作條件下溫升曲線(xiàn)

2）500Hz、5μm工作條件下溫升曲線(xiàn)

3）200Hz、400V工作條件下溫升曲線(xiàn)