*，壓電促動(dòng)器是基于壓電材料制作而成的具有促動(dòng)功能的壓電執行器件。它利用的是壓電元件的逆壓電效應，在不同電壓的驅使下，它可產(chǎn)生不同的位移量。對于壓電元件本身或直驅機構的壓電促動(dòng)器，伸長(cháng)量一般為1‰至2‰；而對于放大機構設計，就與柔性機構的放大倍數相關(guān)。

 壓電促動(dòng)器的特點(diǎn)： 

·納米級高分辨率

·毫秒至亞毫秒的快速響應

·行程范圍可達1mm

·大出力，可高達50000N

·外形小巧，結構緊湊

·壽命可達十億次

 壓電促動(dòng)器的應用： 

基于壓電促動(dòng)器的特點(diǎn)，在光學(xué)、力學(xué)、半導體、加工、生物醫療、顯微成像等各領(lǐng)域得到廣泛應用。應用場(chǎng)景非常多樣，如快速響應及大出力特點(diǎn)，非常適用于主動(dòng)減振/抑振等；高分辨率特點(diǎn)又使其非常適用于光學(xué)干涉移相、三維形貌測量等；小體積及快速定位特點(diǎn)適用于激光腔調諧等。

 壓電促動(dòng)器的三種類(lèi)型： 

先簡(jiǎn)單介紹三種壓電促動(dòng)器，它們分別為壓電執行元件、直驅機構壓電促動(dòng)器與放大機構壓電促動(dòng)器。

 一、壓電執行元件-無(wú)機械結構 

壓電執行元件是外部未裝配機械結構的壓電陶瓷，是壓電原材料經(jīng)過(guò)混合、煅燒、研磨、再混合、流延、構建、層壓、切割、燒結、加工、處理、極化等生產(chǎn)過(guò)程而制成的壓電元件，極化后的壓電元件具有壓電效應。

壓電執行元件的外形尺寸一般很小，厚度可小至1mm，對于較大壓電執行元件，一般長(cháng)寬上限為25mm、外徑為35mm，非常適于小應用空間的應用，如焊線(xiàn)機線(xiàn)夾、移相、精密定位等。

 二、直驅壓電促動(dòng)器 

直驅壓電促動(dòng)器是具有機械結構的壓電執行器，它的結構采用直接驅動(dòng)的方式，以約1：1的比例將壓電元件本身的位移、出力等進(jìn)行輸出。不僅不會(huì )改變壓電元件的優(yōu)勢特點(diǎn)，還會(huì )顯著(zhù)提高壓電元件的動(dòng)態(tài)性，并為其增加了一層強有力的保護。

另外，它也增加了機械接口，使安裝更便捷，可選擇平頭、球頭、內螺紋、外螺紋等多種形式，也可定制。

直驅壓電促動(dòng)器適用于多種應用，如減振抑振、諧振器、移相器等。

 三、機構放大壓電促動(dòng)器 

機構放大壓電促動(dòng)器也是具有機械結構的壓電執行器，但結構形式不同，它采用的是柔性放大機構，將壓電元件本身產(chǎn)生的位移進(jìn)行放大輸出，可放大達十倍，甚至更高，取決機械結構的設計。

機構放大壓電促動(dòng)器的位移可達毫米量級，但它的出力會(huì )相應減少，非常適合靜態(tài)、大位移應用，如材料摩擦系數的測量等。