差分驅動(dòng)壓電納米定位臺-P16系列升級版
P16系列壓電平臺是以小體積、大位移而聞名,它的外形尺寸僅60×60×20mm,位移行程可選50μm或100μm,非常小的體積及較低的高度提供了較大的位移。
P16系列XY二維運動(dòng)壓電平臺,它的中心具有φ20mm的中心通孔,非常適用于光學(xué)應用。
近期,芯明天公司對P16系列進(jìn)行了升級,對結構和外觀(guān)進(jìn)行了改善,使之更加一體化,同時(shí),可靠性也大幅提高。
安裝接口
需帶載的負載可通過(guò)移動(dòng)面上間距25mm的4個(gè)M3螺紋孔或間距16mm的4個(gè)M2螺紋孔進(jìn)行固定,機械接口,安裝便捷。
驅動(dòng)原理
P16系列壓電平臺是一款特別的運動(dòng)平臺,它采用差分式驅動(dòng)控制,雖然是二維運動(dòng),但它需要一臺具有恒壓的三通道壓電控制器驅動(dòng),這是因為它內部每軸的運動(dòng)都采用兩組壓電陶瓷差分式驅動(dòng),如下圖所示。
使用說(shuō)明/位移曲線(xiàn)
由于差分驅動(dòng),P16壓電平臺的開(kāi)/閉環(huán)位移曲線(xiàn)與非差分驅動(dòng)式壓電平臺的會(huì )略顯不同。以150V驅動(dòng)電壓為例,X軸方向的閉環(huán)位移與控制電壓的關(guān)系如下圖所示,Y軸方向的位移&電壓曲線(xiàn)與X軸相同。
閉環(huán)位移曲線(xiàn)
從上圖中可看出,在控制電壓為75V時(shí),移動(dòng)平面的位置會(huì )回到施加電壓前的初始位置。
技術(shù)參數
型號:P16.XY100S/K
運動(dòng)自由度:X Y
標稱(chēng)行程范圍:80或±40μm/軸@120V
行程范圍:100或±50μm/軸@150V
傳感器類(lèi)型:SGS
通孔尺寸:φ20mm
閉/開(kāi)環(huán)分辨率:10/5nm
閉環(huán)線(xiàn)性度:0.4%F.S.
閉環(huán)重復定位精度:0.1%F.S.
俯仰/偏航/滾動(dòng):<25μrad
推/拉力:30N
運動(dòng)方向剛度:0.5N/μm
空載諧振頻率:400Hz
閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間:10/1.6ms
閉環(huán)空載工作頻率:100Hz@10%行程
閉環(huán)空載工作頻率:10Hz@行程
承載能力:1.5kg
靜電容量:3.6μF/軸
材質(zhì):鋼、鋁
重量:220g
注:P16.XY50S/K的位移范圍50μm或±25μm。
典型應用
• 顯微成像 • 表面檢測 • 干涉 / 計量 • 精密定位 • 光學(xué) • 微操作
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