N35系列壓電偏轉鏡
特點(diǎn)
•θx、θy二維偏轉 •大角度偏轉達50mrad •閉環(huán)分辨率達2μrad •可選配閉環(huán)傳感器
結構簡(jiǎn)介
N35壓電偏轉鏡(兩軸運動(dòng))是基于平行運動(dòng)學(xué)設計,具有共面軸及移動(dòng)面。四個(gè)執行機構(PZT壓電陶瓷驅動(dòng)器)以90°角平分放置,成對的差分控制分布。兩對差分驅動(dòng)壓電促動(dòng)器在較大溫度范圍內提供可實(shí)現的角度穩定性。它的偏擺運動(dòng)是由兩對壓電促動(dòng)器以推拉模式來(lái)實(shí)現,采用橋式連接電路控制。
高可靠性及長(cháng)壽命、高穩定性及動(dòng)態(tài)性
N35系列壓電偏轉鏡系統內部裝配帶有預緊力的高可靠性壓電促動(dòng)器,被集成在經(jīng)過(guò)FEA建模分析的鉸鏈導向系統。壓電促動(dòng)器為疊堆共燒型壓電陶瓷,可提供更好的穩定性及可靠性。
壓電促動(dòng)器、導向機構及傳感器是免維護的,不易損壞且提供超高的可靠性。
先進(jìn)的鉸鏈/杠桿設計將慣性小化,允許50mrad的大角度俯仰/偏轉范圍(可將光束偏轉 100mrad),且具有非??斓捻憫俣?,在毫秒級范圍。
除了大偏轉角度及高動(dòng)態(tài),N35還提供了微弧度的分辨率。內部集成高分辨率、全橋的應變傳感器(SGS)實(shí)現了精確的位置控制,具有優(yōu)異的重復定位精度,通常為滿(mǎn)行程的0.02%。
N35壓電偏轉鏡角度測量
技術(shù)參數
型號:N35.T40S/K
運動(dòng)自由度:θxθy
偏轉角度@120V:40mrad(≈8250秒)
偏轉角度@150V:50mrad(≈10300秒)
傳感器類(lèi)型:SGS/-
閉/開(kāi)環(huán)分辨率:2/1 µrad
閉環(huán)線(xiàn)性度:0.05%F.S.
閉環(huán)重復度:0.02%F.S.
空載諧振頻率:1300Hz
帶載諧振頻率(12.7mm×3mm鏡片):1050Hz
閉/開(kāi)環(huán)階躍時(shí)間:1.4/1ms
靜電容量:14.5μF
材質(zhì):鈦合金
重量:223g
推薦控制器 - E70.D3S壓電控制器
E70.D3S壓電控制器為小體積壓電控制器,具有3個(gè)輸出通道,可含一路恒壓輸出,非常適于驅動(dòng)N35系列壓電偏轉鏡。
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