顯微光學(xué)成像是指透過(guò)樣品或從樣品反射回來(lái)的可見(jiàn)光，通過(guò)一個(gè)或多個(gè)透鏡后，能夠得到微小樣品的放大圖像的技術(shù)，其中大行程、高精度機構放大式壓電促動(dòng)器可帶動(dòng)樣品做Z向超精密運動(dòng)，可使觀(guān)測精度達到納米級。

機構放大式壓電促動(dòng)器是一種通過(guò)機械放大結構將預載的低壓壓電陶瓷疊堆產(chǎn)生的位移進(jìn)行放大并垂直輸出的促動(dòng)器。

機械放大結構為橢圓形機械殼體，它的材料一般為鋼，它對壓電疊堆陶瓷除了提供優(yōu)化預緊力外，也對疊堆陶瓷起到保護作用，使其免于承受拉力，拉力對壓電疊堆陶瓷會(huì )產(chǎn)生不可逆甚至致命的損壞。橢圓機械放大結構也為用戶(hù)提供了易于集成的機械接口。

技術(shù)參數

型號：P06.X500R

位移行程：560μm

運動(dòng)方向出力：100N

剛度：0.25N/μm

靜電容量：10.8μF

空載諧振頻率：170Hz

開(kāi)環(huán)曲線(xiàn)

典型應用

• 探針掃描

• 光開(kāi)關(guān)、快門(mén)/快門(mén)防抖

• 激光腔調諧

• 光纖拉伸

• 器件疲勞度監測

• 測流技術(shù)

• 液滴發(fā)生器

推薦控制器

可配套芯明天單通道小體積E53系列壓電控制器，實(shí)現Z向高精度定位控制。