芯明天Z向掃描臺配套數字式控制器用于顯微計量
P78.Z100壓電顯微樣品臺
P78系列壓電顯微樣品臺可以帶動(dòng)樣品以亞納米級分辨率進(jìn)行高速掃描與定位,是顯微計量學(xué)和高分辨率顯微鏡應用的重要功能。配置閉環(huán)傳感器,對位移實(shí)現實(shí)時(shí)監測并反饋給閉環(huán)壓電控制器,實(shí)現納米級精密控制及超高線(xiàn)性度和穩定性。無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構確保實(shí)現快速響應、高剛度及毫秒級響應時(shí)間,緊湊的外形結構易于集成到顯微儀器設備中。
特性
· 一維Z軸運動(dòng)
· 運動(dòng)行程100μm
· 閉環(huán)SGS傳感器
· 分辨率可達4nm
· 通孔尺寸120×70mm
· 空載階躍時(shí)間5ms
· 空載諧頻200Hz
· 承載能力1kg
· 外形尺寸:154×136×25mm
E53.D數字式伺服控制器
與傳統的控制器相比,數字式伺服壓電控制器具有更高的線(xiàn)性度,操作簡(jiǎn)單以及易于控制的優(yōu)點(diǎn)。E53系列控制器,體積小巧,結構緊湊,且提供了快速響應的實(shí)時(shí)修正,通過(guò)優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調節與控制的精準度與穩定性,可靠的抗干擾設計保證了控制器的高頻響應速度,從而實(shí)現納米定位臺精確、穩定的運動(dòng)。
特性
· 一通道 閉環(huán)控制
· 0~120/150V輸出
· 平均電流60mA
· 放大器帶寬10kHZ
· 通信接口:USB/RS-422/RS-232
· 重量:350g
· 外形尺寸:148×27.5×80mm
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