壓電移相器是專(zhuān)為光學(xué)檢測移相應用而設計的，中心通孔直徑為65mm，內置高性能壓電陶瓷，可以實(shí)現Z軸50μm的位移行程，負載可達2kg，無(wú)摩擦柔性導向機構具有超高的分辨率，非常適于鏡頭的光學(xué)檢測等應用。
菲索干涉儀作為工業(yè)上應用廣泛的表面輪廓檢測技術(shù)之一，它有很多優(yōu)點(diǎn)，如更高的測試靈敏度和準確度、非接觸式不會(huì )對被測件造成表面損傷、大量程范圍、抗干擾能力強、操作方便，因此在精密測量、精密加工和實(shí)時(shí)測控的諸多領(lǐng)域得到廣泛應用。
在被測面前有參考面，兩面間距非常近，以保證這兩個(gè)平面反射的光線(xiàn)具有相干性。作為參考的反光塊的上表面與下表面間很小的夾角，是用于保證上表面的反光不參與干涉條紋的形成。參考面與待測面的反光發(fā)生干涉后產(chǎn)生干涉條紋，由成像系統來(lái)接收。分析條紋的形狀就能確定待測面的表面情況是否有缺陷。
在菲索干涉儀中，移相誤差的存在會(huì )極大地影響測量結果的準確性，為了保證移相步進(jìn)的精度，一般選用壓電移相器（PZT移相器）。
可創(chuàng )建一種單色點(diǎn)光源菲索干涉儀的移相結構，由PZT壓電移相器進(jìn)行移相步進(jìn)調整，成像系統進(jìn)行成像，同時(shí)在毛玻璃屏上可觀(guān)察干涉條紋情況。毛玻璃上方的透鏡加入前可調節光斑的重合，加入后可觀(guān)察干涉條紋情況，便于初始化設置。
壓電移相器的作用是用于調節參考面的步進(jìn)移動(dòng)，以便于采集多幅干涉圖像。在初始化調節設置好后，開(kāi)始測量。壓電移相器控制器發(fā)送電壓給移相器，使之按照的步數及步進(jìn)距離移動(dòng)，當移相器到達某既定位置時(shí)，會(huì )對圖像進(jìn)行一次采集，并存儲滿(mǎn)足移相算法要求的若干幅干涉圖，然后再由計算機根據采集到的干涉圖像進(jìn)行計算及面形求解。
