壓電陶瓷管掃描器是徑向極化壓電材料的薄圓管體，具有四個(gè)外部電極和連續的內部電極。當電壓施加到外部電極之一時(shí)，相應區域的致動(dòng)器管壁膨脹，這引起管尖的垂直收縮和大的橫向偏轉。圓周電極可用于垂直或徑向伸展和收縮。

壓電管掃描器廣泛用于掃描探針顯微鏡、光纖拉伸和光束掃描等應用?？筛鶕筇峁┒ㄖ瞥叽?、規格。

技術(shù)參數

注：若工作在諧振頻率點(diǎn)，施加的驅動(dòng)電壓必須降到驅動(dòng)電壓上限的5%。

驅動(dòng)

在驅動(dòng)內部電極配置中，X和Y電極以標準方式相等且相反極性的電壓驅動(dòng)。通過(guò)向內部電極施加滿(mǎn)量程負電壓，獲得等于垂直掃描范圍的一半的收縮。該方法利用壓電材料更高的正電場(chǎng)強度，其通常是負電場(chǎng)強度的五倍。必須注意不要對內部電極施加正電壓，因為這會(huì )導致去極化。

電極

壓電陶瓷管配有鎳薄膜電極。內部電極是連續的，外部電極是四分區的。通過(guò)用稀硝酸蝕刻可以去除表面電極?？筛鶕筇峁┒ㄖ齐姌O配置。

在需要高磁場(chǎng)的應用中，鎳電極可以用銅或金代替。銅是一種經(jīng)濟的選擇，但金電具有優(yōu)異的耐腐蝕性和導電性。

真空兼容性

壓電管不含任何除氣材料，并且*兼容真空。

應用案例

壓電陶瓷掃描管用于光纖掃描。