P73.Z200為大行程壓電物鏡定位器，Z軸直線(xiàn)運動(dòng)范圍可達200μm，采用柔性鉸鏈設計機構，無(wú)摩擦、運動(dòng)直線(xiàn)性好且閉環(huán)型號定位精度高。分離式螺紋適配器設計，可適配多種型號的顯微鏡，廣泛應用于大范圍顯微成像、雙光子顯微鏡等領(lǐng)域。

典型應用

• 三維成像

• 干涉/計量

• 表面結構分析

• 共焦顯微

高穩定性、長(cháng)使用壽命

P73.Z200壓電物鏡定位器體積小巧、結構緊湊、性?xún)r(jià)比高，可以與市面上很多規格型號的顯微物鏡配套。物鏡定位器內置高可靠性壓電陶瓷，與優(yōu)異的機械結構相結合，具有穩定性好、使用壽命長(cháng)等優(yōu)點(diǎn)。

應用分析實(shí)例

技術(shù)參數

型號：P73.Z200

運動(dòng)自由度：Z

行程范圍（0~120V）：160μm

行程范圍（0~150V）：200μm

閉環(huán)傳感器類(lèi)型：SGS

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：11/5nm

閉環(huán)線(xiàn)性度：0.1%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.05%F.S.

推/拉力：80/10N

運動(dòng)方向剛度：0.25N/μm

空載諧振頻率：210Hz

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：20/10ms

承載能力：0.2kg

靜電容量：7.2μF

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：360g