在涉及到微米級小孔的超快激光加工應用中集成壓電偏轉鏡，具有加工精度高、加工速度快等特點(diǎn)。已廣泛應用于航天器件微小孔加工、異形孔加工等領(lǐng)域。

P33.T8S系列壓電偏轉鏡是具有快速響應且體積緊湊等特點(diǎn)的偏轉平臺，提供頂端面的高精度角度運動(dòng)，與其他執行器相比，柔性鉸鏈導向的壓電偏轉平臺可提供更高的加速度，使階躍響應時(shí)間在亞毫秒范圍。P33.T8S在10mrad滿(mǎn)行程工作頻率達50Hz，可連續工作15天。

特點(diǎn)

• 二維θx、θy 偏轉

• 偏轉范圍可達12.5mrad

• 亞毫秒響應時(shí)間

• 閉環(huán)定位精度高

• 溫度穩定性高

高動(dòng)態(tài) 閉環(huán)精度高

在機械結構的合適位置采用應變傳感器來(lái)得到高穩定性及定位精度，他們提供了較高的帶寬并向控制器發(fā)送定位反饋信號，傳感器以橋式配置連接以消除熱漂移從而確保優(yōu)質(zhì)的穩定性。

技術(shù)參數

型號：P33.T8S

運動(dòng)自由度：θx、θy

行程范圍（0~120V）：10mrad（≈2060”）/±5mrad(≈±1030”)

行程范圍（0~150V）：12.5mrad（≈2500”）/±6.25mrad(≈±1250”)

閉環(huán)傳感器：SGS

閉環(huán)分辨率：0.5μrad(≈0.1”)

閉環(huán)線(xiàn)性度：0.25%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.02%F.S.

空載諧振頻率：3.1kHz

閉環(huán)空載階躍時(shí)間：8ms

靜電容量：14.5μF/軸

材質(zhì)：鋼

重量：340g