M60 系列直線(xiàn)壓電馬達，內部采用 PZT 壓電式驅動(dòng)，直線(xiàn)運動(dòng)行程可選 25、50、100mm，可達亞納米級分辨率?？蛇x配閉環(huán)伺服傳感器（增量式編碼器），具有更高的定位精度?？蛇x移動(dòng)臺面。

特點(diǎn)

• 大出力

• 閉環(huán)誤碰后自動(dòng)歸位

• 上電自動(dòng)找零位

• 可選光柵數字閉環(huán)

• 采用耐磨材料，真空無(wú)磁兼容

應用領(lǐng)域

• 工業(yè)級精度定位

• 半導體技術(shù)/測試

• 晶圓檢測

• 平版印刷

• 納米壓印

• 納米計量學(xué)

• 在強磁場(chǎng)和真空中運動(dòng)

大出力
M60系列直線(xiàn)壓電馬達的主動(dòng)推拉力可達50N，被動(dòng)保持力達60N。并且，M60水平放置時(shí)，可承載10kg負載下進(jìn)行高精度運動(dòng)。

 增量式編碼器提高精度
M60可選配增量式編碼器作為閉環(huán)傳感器，可提高直線(xiàn)運動(dòng)的精度。

 斷電自鎖、自動(dòng)找零、自動(dòng)歸位
M60后在斷電后具有自鎖功能，且再次上電時(shí)，會(huì )自動(dòng)找零位。在使用中，若有誤碰情況，M60會(huì )自動(dòng)調節歸位。

 耐磨材料

 M60直線(xiàn)壓電馬達采用高耐磨材料，壽命達千米以上。

 配套控制器

E71系列壓電控制器是專(zhuān)為驅動(dòng)M60直線(xiàn)壓電馬達而設計，它是由上位機數字控制，運動(dòng)速度可調，采用逼進(jìn)式到達目標位置的設定方式。

M60技術(shù)參數

型號：M60直線(xiàn)壓電馬達

運動(dòng)自由度：X

集成傳感器類(lèi)型：增量式編碼器

標稱(chēng)行程范圍：25mm、50mm、100mm

速度上線(xiàn)：10mm/s

閉環(huán)分辨率：＜10nm

開(kāi)環(huán)分辨率：＜0.1nm

推/拉力（主動(dòng)）：50N

保持力（被動(dòng)）：60N

工作溫度：0~50℃

質(zhì)量（包含電纜）：565g

材質(zhì)：鋁，不銹鋼

電纜長(cháng)度：1.5m