超精密加工是實(shí)現納米加工的有效方式，其中壓電快速刀具伺服系統是超精密加工中的核心器件，快速刀具定位臺帶動(dòng)車(chē)刀或其他刀具微納米級進(jìn)給，在工件表面進(jìn)行加工。此外也可加工各種回轉表面，如內圓柱面、內外圓錐面、螺紋、溝槽、端面和成型面等。

FTS20 系列快速刀具定位臺是專(zhuān)為超精密車(chē)削而設計的快速刀具微進(jìn)給平臺，它采用直驅式驅動(dòng)結構，承載力大、頻率高，且采用電容式閉環(huán)傳感器，具有納米級定位精度。

特點(diǎn)

•行程范圍18μm

•滿(mǎn)行程下，使用頻率可達95Hz

•負載能力300g

高剛度

快速刀具定位臺采用大出力壓電陶瓷，同時(shí)臺體材料采用不銹鋼材質(zhì)以確保加工過(guò)程中的穩定性，結構穩定可靠，加工精度不會(huì )因顫動(dòng)而受影響。

技術(shù)參數型號：FTS20

行程：18μm@95Hz

9μm@190Hz

1μm@600Hz

傳感器：SGS

線(xiàn)性度：0.1%F.S.

重復定位精度：15nm

負載：300g

剛度：120N/μm

空載諧振頻率：4000Hz

驅動(dòng)電壓范圍：0~150V

外形尺寸：L110×W95×H42mm

重量：2100g

工作溫度：-20~80℃

出線(xiàn)長(cháng)：1.5m