快速、準確的讀取計算機硬盤(pán)磁道的寬度對于提高硬盤(pán)存儲信號密度和讀取時(shí)間非常重要，壓電納米定位臺納米級定位精度為高精度磁盤(pán)磁道定位提供了解決方案。

XP-63X壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅X軸運動(dòng)定位臺，內置高可靠性壓電陶瓷，采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構，具有剛度大、分辨率高、響應速度快等特點(diǎn)，在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著(zhù)至關(guān)重要的作用。

特點(diǎn)

• 行程范圍60μm

• 承載能力5kg

• 重復定位精度可達0.05%F.S.

• 亞毫秒響應時(shí)間

剛度大 閉環(huán)精度高

XP-63X系列壓電納米定位臺有*的結構設計，具有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點(diǎn)。負載情況下也具有很高的使用頻率，響應時(shí)間可以實(shí)現亞毫秒級。

閉環(huán)版本配置應變傳感器，可實(shí)時(shí)檢測位置信號并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過(guò)PID 算法對檢測到的位置信號進(jìn)行修正，從而實(shí)現納米級的精密定位。

頻率負載曲線(xiàn)

技術(shù)參數

型號：XP-633

運動(dòng)自由度：X

行程范圍（0~120V）：48μm

行程范圍（0~150V）：60μm

閉環(huán)傳感器類(lèi)型：SGS

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：2/0.3nm

閉環(huán)線(xiàn)性度：0.15%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.1%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)：<30μrad

推/拉力：480/80N

運動(dòng)方向剛度：10N/μm

空載諧振頻率：1.5kHz

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：5/3.2ms

承載能力：5kg

靜電容量：7.2μF

材質(zhì)：鋁

重量：450g