P16系列穩像壓電掃描臺
特點(diǎn)
•位移可達105μm
•承載能力1.5kg
•閉環(huán)重復定位精度高
•開(kāi)環(huán)、閉環(huán)可選
•真空版本可選
頻率負載曲線(xiàn)
剛度大、諧振頻率高、負載能力大
P16系列壓電掃描臺,采用機構放大設計原理,內置高性能壓電陶瓷,掃描臺分別可實(shí)現50μm 、100μm、105μm 的運動(dòng)行程,一體式結構設計XY 軸運動(dòng)無(wú)耦合,優(yōu)異的結構可承載1.5kg 的負載,空載諧振頻率達700Hz。P16.XY100 版本為中心對稱(chēng)運動(dòng)方式,需配套帶有一通道恒壓的三通道壓電控制器。
P16二維壓電掃描臺中心通孔尺寸Ø20mm或Ø43mm,該系列壓電掃描臺以其小體積、大負載、高動(dòng)態(tài)等特性廣泛應用于顯微成像等領(lǐng)域。
應用實(shí)例
P16.XY二維壓電掃描臺以其大承載、高頻率等特點(diǎn),應用于光路調整實(shí)驗中,帶載鏡片做XY軸精密運動(dòng)。
技術(shù)參數
型號:P16.XY100
運動(dòng)自由度:X、Y
行程范圍(0~120V):80μm或±40μm/軸
行程范圍(0~150V):100μm/軸或±50μm/軸
閉環(huán)傳感器:SGS
通孔尺寸:Ø20mm
閉/開(kāi)環(huán)分辨率:10/5nm
閉環(huán)線(xiàn)性度:1%F.S.
閉環(huán)重復定位精度:0.5%F.S.
俯仰/偏航/滾動(dòng):<25μrad
推/拉力:30/30N
運動(dòng)方向剛度:0.5N/μm
空載諧振頻率:600Hz
閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間:10/1.6ms
承載能力:1.5kg
靜電容量:3.6μF/軸
材質(zhì):鋼、鋁
重量:220g
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