P60系列Z向大行程直線(xiàn)微運動(dòng)平臺
P60.Z500是以壓電陶瓷為驅動(dòng)源,并采用放大機構的一維Z向運動(dòng)的大行程直線(xiàn)微運動(dòng)平臺,是壓電與柔性鉸鏈相結合的納米定位系統,可達毫秒級響應、納米級定位精度,并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應用,如干涉中光路徑長(cháng)度修正、顯微或掃描應用中的樣品定位等,已廣泛應用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。
P60.Z500系列壓電掃描臺,采用機構放大設計原理,可實(shí)現500μm的運動(dòng)行程,優(yōu)異的結構可承載2kg的負載,空載諧振頻率達290Hz。
帶載階躍時(shí)間
P60.Z500S 帶載350g時(shí),階躍時(shí)間200ms。
技術(shù)參數
型號:P60.Z500
運動(dòng)自由度:Z
行程范圍(0~120V):400μm
行程范圍(0~150V):500μm
閉環(huán)傳感器:SGS
閉/開(kāi)環(huán)分辨率:20/5nm
閉環(huán)線(xiàn)性度:0.1%F.S.
閉環(huán)重復定位精度:0.05%F.S.
空載諧振頻率:290Hz
承載能力:2kg
靜電容量:28.8μF
材質(zhì):鋼、鋁
重量(不含線(xiàn)):0.65kg
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