P12.XY500Z800為大行程XYZ三維運動(dòng)掃描臺，平臺采用機構放大設計原理，中心具有通孔，非常適用于近場(chǎng)掃描、共焦顯微等應用。該系列掃描臺XY軸程可達500μm，Z軸直線(xiàn)運動(dòng)行程可達800μm。

中心通孔適配器為標準螺紋牙W0.8×1/36"，便于與顯微鏡集成安裝?？善ヅ洳趟?、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。平臺內部采用有限元分析（FEA）優(yōu)化的線(xiàn)切割撓曲鉸鏈結構。FEA使其設計具有盡可能高的剛度，并使線(xiàn)性和角度跳動(dòng)最小化。開(kāi)環(huán)、閉環(huán)可選，真空版本可選。

特點(diǎn)

• XYZ三維直線(xiàn)運動(dòng)

• XY行程500μm，Z向行程800μm

• 適用于物鏡的三維定位調節

• 可定制真空版本

開(kāi)閉環(huán)曲線(xiàn)

P12.XY500Z800 XY軸電壓位移開(kāi)閉環(huán)曲線(xiàn)。

技術(shù)參數

型號：P12.XY500Z800

運動(dòng)自由度：XYZ

XY軸行程范圍（0~150V）：500μm/軸

Z軸行程范圍（0~150V）：800μm

閉環(huán)傳感器類(lèi)型：SGS

XY軸閉/開(kāi)環(huán)分辨率：20/5nm

Z軸閉/開(kāi)環(huán)分辨率：30/8nm

XY軸靜電容量：28.8μF/軸

Z軸靜電容量：43.2μF

承載能力：250g

重量：1000g（不含線(xiàn)）