激光光束偏轉及其掃描在半導體加工、航空航天、生物醫學(xué)、納米科學(xué)研究等領(lǐng)域得到了越來(lái)越多的應用，同時(shí)對其性能要求也越來(lái)越高。壓電陶瓷驅動(dòng)的偏轉鏡具有更高的精度和更高的頻率，采用應變傳感器的閉環(huán)系統，具有很高的精確度。壓電偏擺鏡采用壓電陶瓷驅動(dòng)器直接驅動(dòng)，多用于圖象處理與穩定、激光掃描與通信、光束偏轉與穩定等系統。

特點(diǎn)

• 二維θx、θy偏轉

• 偏轉范圍可達12.5mrad

• 毫秒響應時(shí)間

• 閉環(huán)定位精度高

• 溫度穩定性高

• 可定制適于航天應用版本、真空版本

閉環(huán)曲線(xiàn)

P33.T8S壓電偏轉鏡的電壓與偏轉角度曲線(xiàn)。

帶載階躍時(shí)間

P33.T8S壓電偏轉鏡帶載50g負載達滿(mǎn)行程的階躍時(shí)間約40ms。

技術(shù)參數

型號：P33.T8S

運動(dòng)自由度：θx θy

行程范圍@120V：10mrad（≈2060秒）/±5mrad(≈±1030秒)

行程范圍@150V：12.5mrad（≈2500秒）/±6.25mrad(≈±1250秒)

傳感器類(lèi)型：SGS

閉環(huán)分辨率：0.5μrad(≈0.1秒)

閉環(huán)線(xiàn)性度：0.25%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.02%F.S.

空載諧振頻率：3.1kHz

閉環(huán)載階躍時(shí)間：8ms

靜電容量：14.5μF/軸

材質(zhì)：鋼

重量：340g

偏轉臺長(cháng)度：91mm

配套壓電控制器

壓電控制器的主要功能是將微弱的外部模擬輸入信號，通過(guò)內部功率放大模塊將微弱的信號放大到能夠滿(mǎn)足對壓電偏轉鏡驅動(dòng)的要求。P33.T8S配套的E70系列壓電控制器具有大功率、高帶寬、低紋波噪聲等特點(diǎn)，通過(guò)優(yōu)化傳感伺服模塊提供了PI調節與控制的精準度與穩定性，可靠的抗干擾設計保證了控制的高頻響應速度。