基于PZT壓電納米定位臺/移相器調節的3D光纖端面檢測
光纖連接器是光纖與光纖之間進(jìn)行可拆卸(活動(dòng))連接的器件,它把光纖的兩個(gè)端面精密對接起來(lái),以使發(fā)射光纖輸出的光能量能最大限度地耦合到接收光纖中去,并使由于其介入光鏈路而對系統造成的影響減到最小。光纖連接器作為光通訊無(wú)源器件中使用*泛的產(chǎn)品,其質(zhì)量直接影響到了光纖通訊的傳輸效率和性能。為使其插入和回波損耗以及互換性都能達到*狀態(tài),市面上有很多檢測設備來(lái)保證光纖連接器的質(zhì)量。
傳統的端面檢測儀可以快速檢測端面是否有污染物、劃痕、缺陷等不合格的因素,但是對于某些場(chǎng)合要用的光纖連接器端面,僅靠這些因素的判斷是無(wú)法來(lái)確定其是否合格和符合要求的。因此可以檢測光纖端面3D參數的技術(shù)應運而生。
3D檢測系統及其原理
目前光纖端面的三維參數檢測,常用的方式是光學(xué)干涉來(lái)進(jìn)行測量。光學(xué)干涉就是根據相干光在空間相遇時(shí),在某些區域始終增強,在某些區域始終減弱,形成穩定的強弱分布。實(shí)際測量所用到的3D干涉儀系統就是根據這個(gè)原理設計的,其結構如圖1所示。
圖1、光纖連接器端面檢測干涉系統
3D干涉儀系統主要工作原理是由光源射出的光線(xiàn)經(jīng)半透鏡反射到干涉物鏡,光線(xiàn)聚焦于被檢測光線(xiàn)連接器的端面,經(jīng)端面反射后與干涉物鏡的反射面反射光線(xiàn)一同透過(guò)半透鏡,成像于CCD攝像頭。這時(shí)在CCD攝像頭上可以觀(guān)察到干涉條紋。CCD攝像頭測得的圖像經(jīng)圖像卡傳送到計算機進(jìn)行解析處理。就可以得到需要的測量結果。由計算機經(jīng)過(guò)控制卡及控制回路控制的PZT壓電納米定位臺/移相器用于移動(dòng)干涉物鏡以產(chǎn)生位相移動(dòng)。
對于光纖端面形狀的測量,一般采用的方式是解析精度較高的位相移法。位相移法的原理是,通過(guò)控制PZT壓電納米定位臺/移相器移動(dòng)干涉物鏡產(chǎn)生位相移動(dòng),每移動(dòng)一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋,根據干涉條紋的分布計算出端面形狀。
圖2、光纖端面3D形貌
從上述原理中可了解到,PZT壓電納米定位臺/移相器的步進(jìn)精度決定著(zhù)3D干涉儀系統的檢測精度。
芯明天生產(chǎn)制造的PZT壓電納米定位臺、壓電促動(dòng)器、壓電移相器產(chǎn)品已廣泛應用于干涉系統,在相移調節過(guò)程中可以提供納米級的步進(jìn)分辨率和精度,使得干涉儀系統測試性能更加穩定、精確。
芯明天壓電促動(dòng)器/納米定位臺/移相器
壓電陶瓷促動(dòng)器 - 小體積型移相器
芯明天壓電陶瓷促動(dòng)器具有體積小、納米級高精度、毫秒級響應速度等特點(diǎn),它的外徑可小至9mm。搭配芯明天E53系列小體積壓電控制器,更適于受限空間的干涉系統。
壓電納米定位臺 - 適于籠式結構
P70系列壓電納米定位臺是專(zhuān)為籠式結構設計,四角預留籠式結構安裝孔。標品具有XY運動(dòng)版本(行程17μm)、Z向運動(dòng)版本(行程8μm),也可選擇XYZ運動(dòng)版本。
壓電物鏡定位器 - 物鏡步進(jìn)
芯明天具有多種壓電物鏡定位器,專(zhuān)用于物鏡的
納米級步進(jìn)調節,它既可集成于籠式結構,也可以集成于任意干涉系統,外形結構緊湊,行程50μm至1mm任意選擇,高達2.5nm的分辨率可滿(mǎn)足干涉系統的步進(jìn)精度要求。
壓電式移相器 - 小通孔至大孔徑
芯明天壓電移相器的種類(lèi)可多達上百種型號,而針對大孔徑激光干涉儀,芯明天專(zhuān)門(mén)設計了P77系列壓電式移相器,孔徑由φ36mm至φ310mm可選,且可按需定制,可完成毫秒范圍內0.5nm步進(jìn)的快速調節。
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