P15.XY100S/K65-B1為二維XY向運動(dòng)壓電平臺，具有超薄的外形，可進(jìn)行每軸100μm范圍內的納米級位置調整，P15.XY100S/K65-B1對于納米范圍的對準、納米聚焦、測量等應用是非常理想的?？蛇x配橋式配置的閉環(huán)傳感器，消除溫度漂移，保證了納米范圍的定位穩定性。同時(shí)，通過(guò)FEA優(yōu)化了直線(xiàn)度與平面度，結構更緊湊、響應速度更快。

特點(diǎn)

• 二維XY向運動(dòng)

• 行程達100μm/軸

• 承載力達500g

• 超薄尺寸

• 可安裝真空吸盤(pán)

典型應用

• 表面檢測

• 顯微成像

• 激光技術(shù)

• 半導體加工與測試

大通孔 快速聚焦

P15.XY100S/K65-B1壓電顯微掃描臺，大通孔設計主要是為了滿(mǎn)足各種樣品夾持結構，如真空吸盤(pán)。

壓電陶瓷驅動(dòng)具有快的響應速度，大大提高了成像捕獲能力。對于有定位精度及穩定性需求的應用，可以選擇配置SGS閉環(huán)傳感器，提供高分辨率、快速響應的傳感電壓信號給壓電控制器。全橋設計避免了溫度的漂移，確保了納米級定位精度。

表面絕緣壓電陶瓷提供長(cháng)使用壽命

壓電掃描臺采用高一致性、高穩定性的表面絕緣壓電陶瓷，陶瓷抵抗外部環(huán)境的能力高且無(wú)漏電現象。

電壓位移曲線(xiàn)

線(xiàn)性度曲線(xiàn)

技術(shù)參數

型號：P15.XY100S/K65-B1

運動(dòng)自由度：XY

行程范圍（0~120V）：80μm/軸

行程范圍（0~150V）：100μm/軸

閉環(huán)傳感器：SGS

通孔尺寸：55×65mm

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：10/5nm

閉環(huán)線(xiàn)性度：0.15%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.05%F.S.

俯仰/滾動(dòng)/偏航：≤10μrad

空載諧振頻率：490Hz

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：50/20ms

承載能力：500g

靜電容量：14.5μF

臺體材料：鋁

電纜長(cháng)度：1.5m