P66A.X30為一維X向運動(dòng)壓電平臺，平臺內部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體化結構設計。機構采用放大式驅動(dòng)原理，內置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現38μm范圍內的納米級位置調整。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有高導向精度、高剛性、高負載、無(wú)摩擦、免維護等特點(diǎn)。平臺具有非常高的控制精度，分辨率和穩定性可達納米量級，定位穩定時(shí)間為毫秒量級。

特性

• 一維X向運動(dòng)

• 行程達38μm

• 承載力達100g

• 可選閉環(huán)版本、真空版本

典型應用

• 納米級精密位置調整

• 掃描顯微

• 微操作

• 納米定位/測量

• 微加工

高動(dòng)態(tài) 高精度

P66A.X30為小體積高精度運動(dòng)平臺，特別為高分辨率、高動(dòng)態(tài)、高定位精度應用而設計，內置高可靠性壓電陶瓷，實(shí)現納米級精度調整，特殊的結構設計使其具有非常大的剛度，空載諧振頻率達2000Hz，滿(mǎn)足工業(yè)上對高頻率、高精度等應用的需求。

技術(shù)參數

型號：P66A.X30

運動(dòng)自由度：X

標稱(chēng)行程范圍（0~120V）：30μm

行程范圍（0~150V）：38μm

閉環(huán)傳感器類(lèi)型：SGS

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：10/5nm

閉環(huán)線(xiàn)性度：0.1%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.1%F.S.

推/拉力：200/10 N

運動(dòng)方向剛度：10N/μm

空載諧振頻率：2000Hz

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：5/1.5ms

承載能力：100g

靜電容量：3.6μF

臺體材料：鋁

電纜長(cháng)度：1.5m

推薦控制器

P66A.X30壓電納米定位臺為一維X向運動(dòng)機構，可配套芯明天單通道壓電控制器，實(shí)現精密運動(dòng)控制。

E01.D1

LCD，薄膜按鍵, 可達625mA

RS-232/RS-422/USB通信

軟件可二次開(kāi)發(fā)

E53.D

小體積，60mA

RS-232/RS-422/USB通信

軟件可二次開(kāi)發(fā)