P60.Z250為一維Z向運動(dòng)壓電納米定位臺，平臺內部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體化的結構設計。機構放大式驅動(dòng)原理，內置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現Z向250μm位移。壓電定位臺具有非常高的控制精度，分辨率和穩定性可達納米量級，定位穩定時(shí)間為毫秒量級。平臺可選真空兼容版本，平臺中的部件均適合于真空應用，真空度可達1×10^(-5)mbar。

閉環(huán)版本定位精度高

P60.Z250可以選擇開(kāi)環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本采用高精度傳感器對位置進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測反饋，配置芯明天閉環(huán)壓電控制器可實(shí)時(shí)對位移進(jìn)行精密調整，實(shí)現納米級的精密定位控制及優(yōu)異線(xiàn)性運動(dòng)和穩定性。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 一維Z向運動(dòng)

• 行程可達250μm

• 承載可達1kg

• 可選真空兼容版本

應用

• 計量/干涉/ 掃描

• 納米定位

• 光盤(pán)驅動(dòng)測試

• 半導體技術(shù)

• 質(zhì)量保證測試

• 微加工/精密控制

技術(shù)參數

型號：P60.Z250

運動(dòng)自由度：Z

標稱(chēng)行程范圍（0~120V）：200μm

行程范圍（0~150V）：250μm

傳感器類(lèi)型：SGS

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：10/3nm

閉環(huán)線(xiàn)性度：0.4%F.S.

重復定位精度：0.1%F.S.

空載諧振頻率：260Hz

承載能力：1kg

靜電容量：21.6μF

工作溫度范圍：-20~80℃

材質(zhì)：鋼、鋁

重量（不含線(xiàn)）： 0.4kg

真空度：1×10^(-5)mbar

外形尺寸（長(cháng)×寬×高）：80×60×20mm

出線(xiàn)長(cháng)：1.5m