P12B.XYZ100壓電掃描臺為3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心通孔，內部采用無(wú)摩擦的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優(yōu)化結構，具有高導向精度、高剛性、大負載、無(wú)磨損等特點(diǎn)。

平臺內可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實(shí)現0.05%F.S.重復定位精度。P12B.XYZ100壓電掃描臺掃描范圍可達100μm/軸，閉環(huán)掃描精度高，直線(xiàn)運動(dòng)無(wú)偏航。產(chǎn)品廣泛應用于表面測量、顯微成像等應用領(lǐng)域，同時(shí)適用于真空應用，滿(mǎn)足客戶(hù)真空應用需求。

特點(diǎn)

· 三維XYZ向運動(dòng)                     

· 行程100μm/軸                     

· 中心通孔Ø10mm                     

· 適用于真空應用                     

應用領(lǐng)域

· 掃描顯微/表面測量                    

· 共焦顯微/半導體測試                  

· 晶圓定位/圖像處理與穩定

· 光纖定位/光學(xué)掃描

電壓位移曲線(xiàn)

技術(shù)參數

型號：P12B.XYZ100

運動(dòng)自由度：XYZ

行程范圍（0~150V）：100μm/軸

傳感器類(lèi)型：SGS

中心通孔：Ø10mm

外徑：Ø49mm

靜電容量：3.6μF/軸

承載能力：0.2kg

工作溫度范圍：-20~80℃

材質(zhì)：鋼、鋁

外形尺寸（高）：38.5mm

出線(xiàn)長(cháng)：1.5m

傳感/電壓連接器：LEMO