真空版本XYZ65N81K26是一款采用壓電螺釘驅動(dòng)的XYZ三維運動(dòng)平臺，可實(shí)現毫米級大行程位置調整，行程可達25.4mm/軸，同時(shí)可實(shí)現納米級位移增量，廣泛應用于精密定位及半導體測試等領(lǐng)域。同時(shí)適用于真空應用環(huán)境要求，真空度可達10^-5Pa。

平臺采用真空版本壓電螺釘驅動(dòng)，全行程內具有超過(guò)20nm的分辨率，額定負載30N，設計結構緊湊，具有出色的長(cháng)期穩定性且能在斷電情況下繼續保持在設定位置。

特點(diǎn)

• XYZ向運動(dòng)

• 行程可達25.4mm/軸

• 分辨率達0.5μm

• 真空度打10^-5Pa

• 可定制閉環(huán)版本

應用

• 平版印刷

• 納米壓印/納米計量學(xué)

• 半導體技術(shù)/半導體測試

• 在強磁場(chǎng)和真空中運動(dòng)

1~3維運動(dòng)平臺

該系列真空版本運動(dòng)平臺，可實(shí)現X、XY、XYZ等多軸運動(dòng)，均可實(shí)現25.4mm的精密位移調整。

技術(shù)參數

型號：XYZ65N81K26

運動(dòng)自由度：XYZ

行程范圍：25.4mm/軸

最小位移增量：<30nm

分辨率：0.5μm

中心負載：50N

軸承：滾珠

材料：鋁

工作溫度：10~40℃

端口：4-Pin

出線(xiàn)長(cháng)：2m

推薦控制器

該系列平臺可由驅動(dòng)器E53.C4K通過(guò)USB接口進(jìn)行4軸開(kāi)環(huán)控制。