X軸大行程壓電納米定位臺
P60.X250是高精度的一維X向壓電納米定位臺,平臺采用有限元分析(FEA)優(yōu)化的線(xiàn)切割撓曲鉸鏈結構,內置高性能壓電疊堆陶瓷,具有非常高的線(xiàn)性度,運動(dòng)行程可達330μm,已廣泛應用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。
P60.X250可以選擇開(kāi)環(huán)或閉環(huán)版本,閉環(huán)版本內部配有高分辨率及快速響應的應變傳感器(SGS),以消除熱漂移,使得該系列納米定位臺可以實(shí)現非常高的線(xiàn)性度與重復度。同時(shí),其抗震動(dòng)的設計,非常適用于相關(guān)實(shí)驗及應用環(huán)境。
特點(diǎn)
• X向運動(dòng)
• 行程可達330μm
• 抗振動(dòng)設計
• 兩通道控制(含1路恒壓)
• 差分驅動(dòng)
• 快速響應
應用
• 計量/干涉
• 納米定位
• 質(zhì)量保證測試
• 精密控制
電壓位移曲線(xiàn)
階躍時(shí)間曲線(xiàn)
P60.X250S帶載200g,小幅值階躍時(shí)間可達20ms。
技術(shù)參數
運動(dòng)自由度:X
行程范圍(0~120V):±130μm
行程范圍(0~150V):±165μm
傳感器:SGS
閉/開(kāi)環(huán)分辨率:12/5nm
閉環(huán)線(xiàn)性度:0.1%F.S.
閉環(huán)重復定位精度:0.04%F.S.
俯仰/偏航/滾動(dòng):<10μrad
推/拉力:300/30N
運動(dòng)方向剛度:1.2 N/μm
空載諧振頻率:490Hz
閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間:80/40ms
承載能力:0.6kg
靜電容量:24.6μF
工作溫度:-40~+80℃
抗振設計:半正弦15g,11ms
后峰鋸齒波20g,11ms
材質(zhì):鋼、鋁
重量:950g
推薦控制器
P60.X250為一維X向差分驅動(dòng)定位臺,需配套兩通道(含一路恒壓)控制器,可配置芯明天四通道E70系列壓電控制器,同時(shí)驅動(dòng)兩臺P60.X250,實(shí)現精密運動(dòng)控制。
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