壓電偏轉臺以其旋轉角度大、精度高、響應速度快等特點(diǎn)，成為電子器件無(wú)損檢測中的核心器件?，F如今，半導體器件、印刷電路板等電子器件在很多領(lǐng)域都得到廣泛應用，這些電子器件的性能直接影響整個(gè)系統的性能，它們的可靠性起到了很重要的作用。隨著(zhù)電路板上元器件密度的日益增大，器件間的連接點(diǎn)只有微米級，常規的檢測手段受到了極大的限制，因為需要精度更高的測試方法。
常見(jiàn)的檢測儀器是光學(xué)微掃描顯微成像系統，以其檢測速度快、精度高等特點(diǎn)受到廣泛關(guān)注。其原理是在系統中加入高精度壓電旋轉平臺，使顯微熱圖像在四個(gè)依次相差90°的傾斜角條件下采集采樣圖像，形成微掃描模式，顯微成像處理系統通過(guò)與獲取微掃描圖像相同的方式交叉融合形成采樣圖像。
除了光學(xué)微掃描顯微成像系統還有壓電偏轉臺，壓電偏轉臺采用機構放大設計原理，體積小巧、結構緊湊，尺寸僅為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉設備中。采用壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件，臺體采用柔性鉸鏈機構，無(wú)摩擦、無(wú)回差，可以實(shí)現0.2μrad的分辨率。內置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實(shí)現微弧度的定位精度，在光路精密角度調整中起著(zhù)非常重要的作用。
芯明天一維θz向壓電偏轉臺，產(chǎn)品體積小巧，最大旋轉角度7.5mrad，承載能力達0.1kg，可帶動(dòng)鏡片做精密旋轉運動(dòng)。是通過(guò)壓電陶瓷驅動(dòng)進(jìn)行精密角度調整，內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)結構設計，確保了產(chǎn)品具有良好的偏轉精度和超高的穩定性且響應速度快，是激光光束掃描以及激光合束等光路調整。
