壓電運動(dòng)平臺在光纖對準中的應用
當兩根光纖接續時(shí),由于兩光纖位置、形狀、結構等的差異,造成能量并不能100%的從一根光纖進(jìn)入另一根光纖,即會(huì )出現連接損耗。為了盡量地減小連接損耗,兩根光纖之間必須精密對準。
圖片來(lái)源于網(wǎng)絡(luò )
光通訊是利用光波來(lái)載送信息,實(shí)現通信。在光通訊器件的生產(chǎn)使用中,光纖對準是一項最基本,也是最重要的操作。多模光纖可以采用外徑對合法。而單模光纖必須采用芯軸對合。通常采用功率法,即對從光源發(fā)出經(jīng)過(guò)對接點(diǎn)處到達光纖末端的光強進(jìn)行監視。通過(guò)不斷調整光纖的對應位置,使通過(guò)接頭處的功率達到最大,也就是達到最大耦合能力,及最小耦合損失(dB)。
一般的光纖對準系統可由以下幾個(gè)部分組成:機械運動(dòng)系統、光學(xué)系統、運動(dòng)控制系統等。
運動(dòng)系統組成示意
光纖的對準,可以模擬為空間兩根直線(xiàn)的*重合。為了達到這個(gè)目的,需要多個(gè)維度的運動(dòng)調節,直線(xiàn)調節和旋轉調節,并要求精度足夠高,操作足夠方便。
芯明天三維壓電螺釘平臺、六軸壓電納米定位臺以其納米級別的調節精度、方便的軟件操作成為光纖對準系統中*的部分。
在光纖端面切割足夠平整情況下,可采用如下圖中所示的光纖對準結構。其中毫米行程的壓電螺釘運動(dòng)平臺提供三維的宏動(dòng)調節,位移增量可控制在30nm以?xún)?;而六軸壓電納米定位臺(X、Y、Z、θx、θy、θz)可提供微米級直線(xiàn)位置調節及毫弧度級角度位置調節,具有納米級直線(xiàn)精度與納弧度級角度精度,保證光纖對準的準確性。此外,六軸壓電運動(dòng)平臺的響應速度達毫秒,可快速進(jìn)行光纖的精確對準。
芯明天三維壓電螺釘平臺、三維壓電定位平臺及壓電偏轉平臺以其納米級別的調節精度、方便的軟件操作成為光纖對準系統中*的部分。
l 三維壓電螺釘運動(dòng)平臺 - XYZ粗調
芯明天XYZ65N81K26是一款采用壓電螺釘驅動(dòng)的XYZ三維運動(dòng)平臺,可實(shí)現毫米級大行程位置調整,行程可達25.4mm/軸,同時(shí)可實(shí)現納米級位移增量,廣泛應用于精密定位及半導體測試等領(lǐng)域。同時(shí)適用于真空應用環(huán)境要求,真空度可達10^-5Pa。
特點(diǎn)
• XYZ向運動(dòng)
• 行程可達25.4mm/軸
• 分辨率達0.5μm
• 真空度達10^-5Pa
• 可定制閉環(huán)版本、更高真空版本
l 壓電六軸運動(dòng)平臺
芯明天具有多種壓電六軸運動(dòng)平臺,是可產(chǎn)生θx、θy、θz、X、Y、Z六軸運動(dòng)的工作平臺,分為并聯(lián)結構型、串聯(lián)結構型,其中并聯(lián)結構型是通過(guò)六支壓電促動(dòng)器的并聯(lián)協(xié)調伸縮實(shí)現空間內六個(gè)自由度的運動(dòng),串聯(lián)結構型的臺體結構更加緊湊。兩種結構都可選擇閉環(huán)版本獲取更高的定位精度,適用于六自由度微操作、微電子精密加工、檢測等應用。
特點(diǎn)
• X、Y、Z、θx、θy、θz六軸運動(dòng)
• 微米級直線(xiàn)運動(dòng)
• 毫弧度級角度運動(dòng)
• 毫秒級快速響應
此外,芯明天具有多種直線(xiàn)壓電促動(dòng)器、三軸壓電納米定位臺、二維θx、θy壓電偏轉平臺,可針對不同的光纖對準結構來(lái)選擇集成。
l XYZ精調壓電陶瓷促動(dòng)器-直線(xiàn)運動(dòng)
壓電陶瓷促動(dòng)器采用壓電陶瓷直驅式結構,特點(diǎn)是出力大、響應速度快,可選配傳感器進(jìn)行閉環(huán)反饋。在封裝壓電陶瓷促動(dòng)器的頂部和底部分別由螺紋固定,固定方式可定制,如外螺紋、內螺紋、球頭、平頭等。特點(diǎn)
• 可達百微米行程
• 納米級分辨率
• 閉環(huán)版本具有更高的精度
• 毫秒級響應速度
• 高可靠性
l 三維壓電運動(dòng)平臺 - XYZ精調
P11系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電平移臺,平臺內部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構,一體化的結構設計。機構放大式驅動(dòng)原理,內置高性能壓電陶瓷,可實(shí)現100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達納米級。
特點(diǎn)
• 1~3維運動(dòng)
• 三維運動(dòng)位移可達100μm/軸
• 體積小巧
• 毫秒級響應時(shí)間
• 納米級定位精度
• 真空版本可選
l 二維壓電偏擺臺 - θxθy精調
S54系列是具有中心通孔的二維θxθy軸壓電偏擺臺,采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結構設計,響應速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心通孔使其易于集成在顯微及掃描等光學(xué)系統中。
特點(diǎn)
• θx、θy偏擺運動(dòng)
• 開(kāi)環(huán)、閉環(huán)可供選擇
• 80×80mm大通孔
• 分辨率高
• 外形超薄
通過(guò)集成以上芯明天粗調、精調及角度精調壓電運動(dòng)產(chǎn)品,可進(jìn)行更加快速、精準的光纖對接,減少對接時(shí)間,提高效率,同時(shí),大幅提高光纖對接的精度!
芯明天高精度壓電納米運動(dòng)產(chǎn)品,提供納米級高精度與毫秒級響應時(shí)間,適用于各類(lèi)光學(xué)及對準應用,不只適于光纖對準,還適用于光柵對準、顯微、成像、光束穩定、納米接合、納米制造等應用。
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