隨著(zhù)壓電應用技術(shù)的進(jìn)步與發(fā)展，研究人員已經(jīng)不再滿(mǎn)足于微小位移、高精度的場(chǎng)景需求，帶有高精度的更大的位移行程需求不斷提出。此類(lèi)壓電產(chǎn)品也隨著(zhù)壓電技術(shù)的發(fā)展進(jìn)步應運而生。芯明天XYZ72SN81K13系列壓電宏微復合運動(dòng)平臺，采用壓電粘滑原理與壓電微動(dòng)技術(shù)相結合的方式，滿(mǎn)足XY軸mm級大行程，并且實(shí)現Z軸nm級的高精度。

特點(diǎn)

XY宏動(dòng)毫米行程，適于鏡頭等位置橫向調整

Z向微動(dòng)微米行程，適于光學(xué)聚焦調整

Φ35mm中心通孔，適于透射光應用

電壓驅動(dòng)控制，速度快，操作便捷

宏微復合

XYZ72SN81K13系列運動(dòng)平臺，采用宏微復合的方式，將壓電粘滑原理與壓電微動(dòng)技術(shù)結合，可實(shí)現XY軸的大行程宏動(dòng)，行程可達±5mm/軸；Z軸進(jìn)行微動(dòng)調節，行程可達8μm。

• XY毫米行程運動(dòng)，壓電螺釘驅動(dòng)

XY軸采用芯明天設計生產(chǎn)的壓電螺釘來(lái)驅動(dòng)，它利用粘滑原理，具有行程大、精度高等特點(diǎn)。再結合中空式滑動(dòng)平臺，將壓電螺釘的直線(xiàn)運動(dòng)轉換至滑動(dòng)平臺的XY軸運動(dòng)。

• Z向微米行程運動(dòng)，壓電直驅結構

Z軸采用PZT壓電直驅結構，提供微米級行程、納米級精度。驅動(dòng)電壓與運動(dòng)行程成線(xiàn)性關(guān)系。

配備籠式結構安裝孔位

XYZ72SN81K13系列壓電宏微復合運動(dòng)平臺是專(zhuān)為籠式結構中的應用而設計，結構中配備了籠式結構安裝通孔，可直接集成到籠式結構中。它可用于帶載任何光學(xué)元件，例如在籠式結構中帶載透鏡，XY向的運動(dòng)調整可精確控制透鏡焦點(diǎn)在平面內的中心位置，而Z向的微運動(dòng)可對焦點(diǎn)在光軸上的位置進(jìn)行精確的納米級微調整。

XYZ72SN81K13系列壓電宏微復合運動(dòng)平臺采用φ35mm的通光孔徑結構，適合于光學(xué)應用。

Z向微動(dòng)位移與電壓曲線(xiàn)

不同于XY向的驅動(dòng)原理，Z向驅動(dòng)時(shí)，產(chǎn)生的位移與驅動(dòng)電壓成線(xiàn)性關(guān)系。

技術(shù)參數

型號：XYZ72SN81K13

運動(dòng)自由度：XYZ

XY宏動(dòng)行程：±5mm/軸

Z向微調行程：8μm@150V

XY最小位移增量：<30nm

Z向閉/開(kāi)環(huán)分辨率：0.3/0.1nm

Z向微調傳感器：SGS

Z向空載諧振頻率：2.5kHz

承載能力：正立500g/側放200g