壓電物鏡定位器的命名實(shí)際由它的驅動(dòng)原理及其應用目的相結合而來(lái)的。“壓電”指的是它的驅動(dòng)原理，即利用PZT壓電陶瓷來(lái)作為驅動(dòng)源從而產(chǎn)生運動(dòng)；而“物鏡定位器”則是它的應用目的，即用來(lái)帶載物鏡頭調節運動(dòng)。但通常情況下，壓電物鏡定位器本身是不包含有鏡頭的，它可以根據實(shí)際使用要求帶載不同類(lèi)型的物鏡頭。
通常情況下，壓電物鏡定位器的行程約100μm，但大行程版壓電物鏡定位器的行程可達1mm。例如芯明天P73系列壓電物鏡定位器，它的Z軸直線(xiàn)運動(dòng)范圍可選200μm、500μm和1mm。同樣采用柔性鉸鏈設計機構，無(wú)摩擦、運動(dòng)直線(xiàn)性好且閉環(huán)定位精度高。分離式螺紋適配器設計，可適配多種型號的顯微鏡。
壓電物鏡定位器的特點(diǎn)主要是其高精度的運動(dòng)以及超快速的響應速度。這個(gè)高精度到底有多高呢？分辨率可≤1nm！壓電物鏡定位器的分辨率可高至比1納米（nm，1nm＝10＾－9m）還要微小。
激光晶圓切割的原理是激光經(jīng)過(guò)透鏡聚焦，再通過(guò)壓電物鏡定位器調整焦點(diǎn)的位置，使焦點(diǎn)準確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著(zhù)激光與被切割材料的相對運動(dòng)，在切割材料上形成由多個(gè)點(diǎn)連成的切縫從而達到切割的目的。
壓電物鏡定位器堅固的設計提供了非?？斓姆€定時(shí)間及掃描頻率，即使帶載幾百克的物鏡時(shí)。多個(gè)壓電驅動(dòng)器的旋轉對稱(chēng)排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設計，使它具有較高的剛度，同時(shí)保證了優(yōu)異的導向精度和動(dòng)態(tài)性。
