干涉測量技術(shù)是以光波干涉原理為基礎進(jìn)行測量的一門(mén)技術(shù)，在現代精密測量領(lǐng)域中，許多測量工作都是靠干涉實(shí)現的。對于許多測量問(wèn)題的解決，光學(xué)干涉測量是目前**可行的方法。與一般的光學(xué)成像測量技術(shù)相比，干涉測量具有大量程、高靈敏度、高精度等特點(diǎn)。隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步，特別是激光技術(shù)的出現及其在干涉測量領(lǐng)域中的應用，使干涉測量技術(shù)在量程、分辨率、測量精度等方面都有了顯著(zhù)的提高。從經(jīng)典的光學(xué)技術(shù)到自適應光學(xué)工程，現代干涉測量技術(shù)的應用領(lǐng)域得到不斷擴展。
現代圖像傳感和計算機技術(shù)也為干涉測量技術(shù)的發(fā)展提供了巨大的助力，這些新技術(shù)使干涉圖像讀取與處理進(jìn)入了新的時(shí)代。
斐索(Fizeau)干涉儀
斐索(Fizeau)等厚干涉儀是一種比較常用的干涉儀，主要用于檢測光學(xué)平面、球面及非球面的表面形狀測量，球面曲率半徑的測量和各種透鏡、棱鏡和透鏡系統以及光學(xué)系統的波面傳輸質(zhì)量的測量。
其干涉原理如圖，單色光源所發(fā)出的光被透鏡會(huì )聚在圓孔光闌上，光闌位于準直管物鏡的焦平面上。從準直物鏡出射的平行光束，在帶有楔度的參考平面下平面和被測平面的上平面反射回來(lái)，再通過(guò)準直物鏡和物鏡在目鏡的焦平面上形成圓孔光闌的小孔的兩個(gè)像。調整被測零件所在的微位移驅動(dòng)工作臺，使兩個(gè)像重合。如果使用CCD相機代替目鏡，就可以將干涉條紋采集并由計算機圖像系統進(jìn)行處理。
透射式Fizeau干涉儀原理示意
斐索(Fizeau)干涉儀有平面的和球面的兩種，前者由分束器、準直物鏡和標準平面所組成，后者由分束器、有限共軛距物鏡和標準球面所組成。單色光束在標準平面或標準球面上，部分反射為參考光束；部分透射并通過(guò)被測件的，為檢測光束。檢測光束自準返回，與參考光束重合，形成等厚干涉條紋。用斐索平面干涉儀可以檢測平板或棱鏡的表面面形及其均勻性。用斐索球面干涉儀可以檢測球面面形和其曲率半徑，后者的測量精度約1微米；也可以檢測無(wú)限、有限共軛距鏡頭的波面像差。
芯明天壓電移相器
近年來(lái)隨著(zhù)數字技術(shù)和圖像采集技術(shù)的進(jìn)步與發(fā)展，各種新型的Fiseau激光干涉儀不斷出現，國內外的公司也都有相應的產(chǎn)品推出。芯明天在微位移移相驅動(dòng)器領(lǐng)域結合自身技術(shù)優(yōu)勢與研發(fā)能力，為干涉測量研發(fā)設計了多種型號產(chǎn)品，與電機驅動(dòng)、電磁驅動(dòng)類(lèi)產(chǎn)品相比，壓電式微位移機構具有體積小、結構簡(jiǎn)單、精度高、分辨率高(nm級別)、剛度好、易于控制操作及能耗低、無(wú)發(fā)熱、無(wú)噪聲等特點(diǎn)。
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芯明天P77系列壓電移相器是專(zhuān)為光學(xué)檢測移相應用而設計，可帶載被測行程范圍可達100µm，負載能力可高達 25kg，適于各種鏡片、鏡頭的光學(xué)檢測設備?？梢罁蛻?hù)的設備應用要求量身定制。
