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新品介紹|XD107系列壓電掃描臺 - 三維納米運動(dòng)

更新時(shí)間： 2022-07-20

XD107系列壓電掃描臺是一款定制設計的三維運動(dòng)的壓電平臺，具有特殊的負載安裝孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，適用于樣品顯微成像/掃描、微納米范圍的對準、納米聚焦、測量等應用。

XD107系列壓電掃描臺內部采用機構放大式驅動(dòng)原理，內置高性能壓電陶瓷、無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構，可實(shí)現XY向100μm/軸、Z向80μm位移。具有非常高的控制精度，分辨率和穩定性都可達nm級，定位響應時(shí)間也可達ms級。

該壓電掃描臺可根據應用需求選配閉環(huán)傳感器，以獲取更高的精度。

產(chǎn)品特點(diǎn)

•XYZ三維運動(dòng)

•行程可達100μm

•承載能力0.4kg

•中心通孔50×50mm

產(chǎn)品應用

•掃描顯微鏡

•掩模/晶圓定位

•干涉、度量衡學(xué)

•生物技術(shù)

•微操作

引線(xiàn)連接器

XD107系列壓電掃描臺的連接器共有2組，每組有3個(gè)，一組用于電壓驅動(dòng)信號的傳輸，一組用于傳感反饋信號的傳輸。連接器的配置主要取決于所選配的壓電控制器的連接器類(lèi)型。XD107系列的連接器是為了匹配芯明天E00/E01系列壓電控制器（下方右圖），若更換其他壓電控制器，可更換為其他相應的連接器類(lèi)型。